Faktori, kas ietekmē PECVD procesa kvalitāti, galvenokārt ietver šādus aspektus
Jul 06, 2023| Izvēloties atstarpi starp starplikām PECVD dobumā, jāņem vērā divi faktori:
(1) Apgaismojuma spriegums: Izvēloties attālumu, apgaismojuma spriegums jāpadara pēc iespējas zemāks, lai samazinātu plazmas potenciālu un substrāta bojājumus.
(2) plākšņu atstatums un dobuma gaisa spiediens: ja atstatums starp plāksnēm ir liels, substrāta bojājums ir mazs, bet attālums nedrīkst būt pārāk liels, pretējā gadījumā tas palielinās elektriskā lauka malas efektu un ietekmēs nogulsnēšanās. Reakcijas kameras izmērs var palielināt produktivitāti, bet tas arī ietekmē biezuma viendabīgumu.
Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas mašīna, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com
