PECVD iekārtu izplatītas problēmas — zems nogulsnēšanās ātrums

Jul 04, 2023|

PECVD iekārtu izplatītas problēmas — zems nogulsnēšanās ātrums

(1) Ja RF ievades jauda nav piemērota, noregulējiet RF jaudu.

(2) Ja parauga temperatūra ir neparasta, pārbaudiet, vai dzesēšanas ūdens plūsma un temperatūra ir normāla.

(3) Vakuuma kameras spiediens ir zems, noregulējiet procesa gāzes plūsmu.

Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas mašīna, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com

3320230422082309

Nosūtīt pieprasījumu