Kāds iemesls ietekmēs ITO plēves pārklājumu ar vakuuma pārklāšanas mašīnu

Iemesls ietekmēs ITO plēves pārklājumu ar vakuuma pārklāšanas mašīnu

ITO plēvēm būs atšķirīgas īpašības, kas var rasties plākšņu pārklāšanas procesā, reizēm virsmas apdare ir salīdzinoši zema, parādīšanās parādība, dažreiz būs augsta korozijas intervāla zona.

Kodināšanas laikā būs arī lineāras radiālās skrambas vai augstas pretestības joslas, dažreiz būs mikrokristāliska rieva.

Dažādu raksturlielumu ģenerēšana parasti ir atkarīga no mērķa materiāla un stikla izvēles, temperatūras un kustības režīma, kas tiek izmantots šļakatām.

Pašreizējie parasti izmantotie ITO mērķmateriāli, kas iegūti, kalcinējot, sastāv no indija oksīda (In2O3) un alvas oksīda (SnO2) pulvera, kas sajaukts saskaņā ar noteiktu proporciju, parasti masas attiecība ir 90% 10% In2O3 un SnO2, atkal pēc apstrādes ar apstrādi. ražošanas procesu sērija, kas ir saķepināta pie augstas temperatūras skābekļa 1400 ℃ ~ 1600 final, galīgā tumšā pelēkā keramikas pusvadītāja ITO (indija alvas oksīda) veidošanās.

Parasti mēs varam uzzināt ITO mērķa materiāla kvalitāti ar izskatu. Tumši pelēks ir labākais. Gluži pretēji, jo tumšāka kvalitāte, jo sliktāk tā ir.

Pētot, izmantojot vakuuma pārklāšanas mašīnas plēves izsmidzināšanas procesu, izmantojot magnetronu izsmidzināšanu, bazālā temperatūras kontrole pie aptuveni 200 ℃ var garantēt vairāk nekā 85% plānās plēves ar augstu redzamo gaismas caurlaidību, zemāko pretestības pakāpi un plēves kristalitāti ar pieaugumu. substrāta temperatūra, graudu izmērs pakāpeniski palielinās.

Vairāk nekā 200 ℃ pēc pārraides ātruma ir vājināta; Izmantojot elektronu staru iztvaikošanu, kopā ar atkausēšanas temperatūru, graudu lielumu, virsmas topogrāfiju vienmērīgu stabilitāti, vairāk nekā 600 ℃ pēc daļiņu izmēriem, formām un mazo daļiņu aglomerācijas fenomena ir nopietna, membrānas virsmas morfoloģija.