Vairāki kopēji izmantoti jonu avoti vakuumkrāsnī

Lai gan ir daudz veidu jonu avota, mērķis ir nekas cits kā tīrīšana tiešsaistē, pārklāta virsmas enerģijas sadales uzlabošana un reaktīvās gāzes enerģijas palielināšana. Jonu avots var būtiski uzlabot savienojuma stiprību starp pārklājumu un pamatni, vienlaicīgi uzlabojot arī paša pārklājuma cietību, nodilumizturību un izturību pret koroziju. Instrumentiem var izmantot nodilumizturīgu pārklājumu, jo kopējais biezums ir liels un plēves biezums nav vienmērīgs, un var izmantot jonu avotus ar augstāku jonu strāvu, piemēram, Honey jonu avotu vai anoda slāņa jonu avotu.

Anoda slāņa jonu avota princips ir līdzīgs Halla jonu avota principam. Spēcīgs magnētiskais lauks tiek izmantots gredzenveida (taisnstūra vai apaļa) slotā, un darba gāze tiek jonizēta ar anoda darbību, un joni ir vērsti uz sagatavi. Anoda slāņa jonu avotu var izgatavot ļoti lielā un garā izmērā, lai tas būtu īpaši piemērots lieliem izstrādājumiem, piemēram, arhitektūras stiklam. Tā jonu strāva ir daudz atšķirīgāka un enerģijas līmeņa sadalījums ir pārāk plašs, tādēļ tas parasti ir piemērots lielām sagatavēm, stiklam, nodilumam, dekoratīvajiem izstrādājumiem utt. Tomēr tas netiek izmantots pārāk daudz uzlabotu optisko pārklājumu.

Kaufmaņa jonu avots ir sava veida jonu avots, kas tika piemērots agrāk. Tas pieder tīklu jonu avotam. Pirmo reizi plazmu ģenerē katoda jonu avota kamerā, un jonus ekstrahē no plazmas kameras ar diviem vai trim anodu tīkliem. Jonam, ko ražo šis jonu avots, ir stipra virziena spēja, un enerģijas joslas platums ir koncentrēts, tāpēc to var plaši izmantot vakuuma pārklāšanā. Kaufmana jonu avota trūkums ir tāds, ka katode (parasti volframa pavediens) ātri sadedzina reakcijas gāzē. Turklāt ir jonu plūsmas ierobežojums, kas var nebūt piemērots lietotājiem, kuriem nepieciešama liela jonu plūsma.

Honey jonu avota principam anode padara procesa gāzi par plazmu, sadarbojoties ar spēcīgu aksiālo magnētisko lauku. Šī asiālā magnētiskā lauka spēcīgā nelīdzsvarotība atdala gāzes jonus un veido jonu starus. Sakarā ar aksiālā magnētiskā lauka spēcīgo ietekmi, jonu starojuma jonu staru jonu stariem jāpapildina elektroni, lai neitralizētu jonu strāvu. Kopējs neitralizācijas avots ir volframs (katode). Salona jonu avotiem raksturīgs:

1. Vienkārša darbība un izturīga.

2. Jonu strāva ir gandrīz proporcionāla gāzes plūsmai, un var iegūt lielāku jonu strāvu.

3. Volframa stieple parasti šķērso izeju, un tā tiks izvadīta ar jonu staru triecienu. Tāpēc parasti tas jāaizstāj vairāk nekā desmit stundas, jo īpaši attiecībā uz reakcijas gāzi. Bez tam, volframam ir arī dažas piesārņojuma problēmas. Lai atrisinātu nepilnības volframa stieplē, var izmantot neitralizatorus ar lielāku kalpošanas laiku, piemēram, nelielu dobu katoda avotu.

Zāliena jonu avotu var uzskatīt par visplašāk izmantoto jonu avotu.

Pārklājot nodilumizturīgu dekoratīvu plēvi, kam ir liels biezums, ir liela izturība pret liešanu, bet viendabīgums nav augstāks, ir pieejams zāles jonu avots, jo tā jonu strāva ir liela un tās enerģijas līmenis ir augsts. Ja pārklāj optisko filmu, jonu strāvas līmenim galvenokārt jākoncentrējas, un jonu strāvai jābūt vienveidīgai. Tādēļ Kaufman ir jāizmanto avota vai RF jonu avotos, un labākā izvēle ir ECR (elektronu ciklotrona) vai ICP (indukcijas savienots) jonu avoti.