Magnetrona mērķa izkliedēšanas koeficienta ietekmes faktori

Izkliedes uzklāšanas ātrums ir parametrs, kas raksturo nogulsnēšanas pakāpi. Uzklāšanas ātrumu nosaka pēc darba gāzes veida, spiediena, mērķa sugas, izsmidzināšanas kodināšanas vietas, mērķa virsmas temperatūras un mērķa virsmas magnētiskās lauka intensitātes, attāluma starp mērķi un substrātu. Turklāt to tieši ietekmē arī mērķa virsmas jaudas blīvums, ti, mērķa barošanas avota "sprieguma spriegums un strāva".

1. Sprieguma spriegums un nogulsnēšanās ātrums

Jo spēcīgāka un blīvāka plazma starp magnetrona mērķa priekšējā magnētiskā lauka kontroles apgabaliem, jo augstāks ir atomu izdalīšanās ātrums mērķī. Starp faktoriem, kas ietekmē izsmidzināšanas koeficientu, pēc mērķa tiek iestatīta gāzu izsmidzināšana un citi faktori, kas ir daudz efektīvāks magnētrona mērķa spriegums. Parasti magnētiskās izplūdes procesā parastajā procesā, jo lielāks ir izlādes spriegums, jo lielāks ir magnētrona mērķa izsmidzināšanas koeficients; tas ir, lielāka incidenta jonu enerģija, lielāks izplūdes koeficients. Enerģijas daudzumam, kas vajadzīgs uztvērēja uzklāšanai, tā iedarbība ir mērena un pakāpeniska.

2. Spontānā strāva un nogulsnēšanās ātrums

Magnetrona mērķa spiediena strāva ir proporcionāla mērķa virsmas jonu strāvai, tāpēc ietekme uz nogulsnēšanās ātrumu ir daudz lielāka par spriegumu. Spiediena strāvas palielināšanai ir divi veidi: viens ir palielināt darba spriegumu, bet otrs - pienācīgi paaugstināt darba gāzes spiedienu. Uzklāšanas ātrums atbilst optimālai spiediena vērtībai. Saskaņā ar šo gāzes spiedienu relatīvais uzkrāšanās līmenis ir vislielākais. Šī parādība ir kopīgs noteikums par magnētrona iztvaikošanu. Neietekmējot plēves kvalitāti vai lietotāja prasības, ir lietderīgi ņemt vērā gāzes spiediena optimālo vērtību, pamatojoties uz izsmidzināšanas iznākumu.

3. Spiediena jauda un nogulsnēšanās ātrums

Kopumā, palielinoties magnētrona mērķa spiediena jaudai, palielinās arī filmas uzklāšanas ātrums. Ir priekšnoteikums, ka spiediena spriegums, kas tiek pielietots magnetrona mērķim, ir pietiekami augsts, lai enerģija, kas iegūta ar darba gāzes joniem elektriskajā laukā starp katodu un anodu, ir pietiekama, lai pārsniegtu mērķa "izkliedes enerģijas slieksni". Dažreiz magnetrona mērķim ir ļoti zems spiediena spriegums (piemēram, vairāk nekā 200 volti), bet spiediena strāva ir relatīvi augsta. Kaut arī vidējā spiediena jauda nav zema, mērķa jonu izsmidzināšanu nevar izsmelt un notraipīt filmā. Magnetronu mērķa sprauslošanas sprieguma un izkliedes strāvas datu uzskaite var ne tikai mums palīdzēt uzzināt magnetrona mērķa "izplūdes spēku", bet arī var mums palīdzēt aptuveni izprast bumbas mērķa jonu enerģijas līmeni un pareizi novērtēt nogulsnēšanas stāvokli no mērķa joniem. Tas palīdzēs analizēt problēmas un parādības daudzos vakuuma pārklājuma procesos.