Lieljaudas impulsa magnetrona barošana
Lieljaudas impulsa magnetrona barošanas avota priekšrocības Lieljaudas impulsa magnetronu izkliedēšanas tehnoloģija (HIPIMS) ● Tradicionālo DC magnetronu impulsa jaudu ierobežo mērķa termiskais spriegums. ● Lielākā daļa jonu sadursmju enerģijas var tieši pārvērst siltumenerģijā ...
- Produkta ievads
Augstas enerģijas impulsu magnetronu izsmidzināšanas tehnoloģijas priekšrocības ( HIPIMS )
● Tradicionālo DC magnetronu impulsa jaudu ierobežo mērķa termiskais spriegums.
● Lielākā daļa jonu sadursmju enerģijas var tieši pārvērst mērķa siltumenerģijā.
● Impulsa magnetrona barošanas avots nodrošina augstu impulsa jaudu un zemu darba ciklu.
● Impulsa magnetrona barošanas avots var tieši nomainīt DC magnetronu izstarošanas strāvas avotu.
Salīdzinājums starp lieljaudas impulsu magnetronu izstarojumu un DC magnetronu izstarojumu
Lieljaudas impulsa magnetrona izsmidzināšanas izlādes iespējas | Dc magnetrona iztvaikošanas izlādes iespējas |
Katoda izlādes spriegums ir 500 ~ 2000 V, strāvas blīvums ir līdz 3 ~ 4A / cm 2 . | Magnētiskā lauka intensitāte ir 0.01 ~ 0.05 T, savukārt darba spriegums ir 300 ~ 700 V zem tipiskā DC magnētrona izsmidzināšanas darba spiediena (1 ~ 10 mTorr). |
Elektronu blīvums substrāta virsmas tuvumā : 10 18 ~ 10 19 m - 3 | Elektronu blīvums substrāta virsmas tuvumā: 10 15 ~ 10 16 m -3 |
Jaudas blīvums: 1 ~ 3kW / cm 2 | Zemu jonizācijas ātrumu (~ 1%) mērķa laikā, veicot izsmidzināšanu. |
Frekvence: 100 ~ 1000Hz | Inertā gāzes joni ir lielākā daļa |
Darba cikls: 1% ~ 10% | Papildu papildu jonizācijas iekārta (RF mikroviļņu krāsns) ir nepieciešama. |
Augstas enerģijas impulsu magnetronu izstarošanas barošanas avota īpašības
● Pozitīvo un negatīvo elektrodu izlādi kontrolē ātrgaitas slēdzis, lai izvairītos no tā, ka tas iekļūst loka izplūdes zonā no tradicionālās magnetronas izsmidzināšanas neparastas spīdēšanas vietas. Pašreizējais blīvums ir līdz 1018-1019 / m3, kas ir ārkārtīgi lielāks par tradicionālo magnetronu izsmidzināšanu. Un ar ļoti augstu jonizācijas ātrumu 80-99%, tas var viegli noglabāt dažādas progresīvas filmas ar spēcīgu saķeri.
● Lieljaudas impulsa magnetrona spiediena jauda nodrošina lieliskus filmas raksturlielumus attiecībā uz filmas konsistenci, cietību, nodilumizturību un adhēziju.
● PHP loka apspiešanas tehnoloģija nodrošina, ka lietotāji var labāk kontrolēt filmas kvalitāti virsmas apstrādes procesā. Ar sprieguma stabilizācijas un ideālas apgriezienus, strāvas padeve var efektīvi aizkavēt apstrādes virsmas spožumu un būtiski uzlabot plākšņu gabalu ražošanas jaudu, virsmas izskatu un plēves saķeri.
● Lieljaudas impulsa magnetrona barošanas sistēma pieņem modernu augstfrekvences pārveidotāja maiņstrāvas barošanas avota tehnoloģiju un lieljaudas IGBT barošanas moduli
● Izmantojot skārienekrānu mikrokontrolleru, strāvas padeve ir ļoti integrēta un jaudīga, ar vienkāršu darbību. Strāvas un sprieguma displejs ir ļoti skaidrs un intuitīvs. Tāpat tas atbalsta daudzkanālu ātrgaitas skaitīšanas un ātrgaitas impulsu funkciju.
● Barošanas avotam ir aizsardzības funkcijas, kas saistītas ar strāvu, pārspriegumu un temperatūru.
● Barošanas avots var sazināties ar uzņēmējas datoru, izmantojot digitālos portus, piemēram, RS232, RS485, WIFI un tā tālāk, tādējādi paplašinot vadības funkciju.
Produkta specifikācija:
Produkta modelis | |
Ieejas jauda un frekvence (V / Hz) trīsfāzu un četru vadu | AC380 + N |
| 60 Hz | |
Izejas strāvas diapazons (A) | 0 ~ 500 |
Kontrasta voltaga un konstants strāvas precizitāte | ≤1% |
Nominālā izejas spriegums (DCV) | 800 |
Maksimālā vidējā jauda (KW) | 40 |
Maksimālā jauda (KW) | 400 |
Cikls (%) | <> |
Svars (KG) | 60 |
Ārējie izmēri (MM) | 575 (D) × 480 (W) × 250 (H) |
Izolācijas pakāpe | B |
Produktivitāte (%) | 90 |
Korpusa aizsardzības klase | Ip21 |
Darbības režīms | Pastāvīgs spriegums, pastāvīgs strāvas un pastāvīgais enerģijas režīms ir izvēles iespējas. |
Dzesēšanas režīms | Ūdens dzesēšana |
Ārējā saskarne | Šajā sērijas izstrādājumos visi lieto skārienekrāna mikrokontrolleru |
Salīdzinājums starp lieljaudas impulsu magnetronu izstarošanas strāvas avotu EP50A80H un citiem izstrādājumiem
Lieljaudas impulsu magnetronu izstarošana | |||
Zīmols | Hausers | IKS | |
HIPIMS + | EP50A80H | ||
Maksimālā vidējā jauda | 20kW | 20kW | 40KW |
Peak Power | 1MW ~ 8MW | 360kW | 400kW |
spriegums | 1KV, 2KV | 800 | 800 |
Pašreizējais | 1KA, 2KA, 4KA | 600 | 500 |
Arc Detection | <500> | <800> | <500> |
Iepakojums (B * H * T) | 483x635x676 | null | 480x268x700 |
Augstas jaudas impulsa magnētrona iztvaikošanas jaudas EP50A80H priekšrocības
● Augsta uzticamība
EP50A80H nodrošina lieliskus filmas raksturlielumus attiecībā uz filmas konsistenci, cietību, nodilumizturību un adhēziju.
● Izcila leņķa slāpēšanas tehnoloģija
EP50A80H pieņem PHP loka ierobežošanas tehnoloģiju, lai lietotāji varētu ērti kontrolēt filmas kvalitāti virsmas apstrādes procesā, lai iegūtu labāku filmu struktūru.
EP50A80H var tieši aizstāt esošo magnetronu izsmidzināšanas barošanas bloku. Tā vietā, lai aizstātu katoda materiālus un magnētiskos laukus, lietotājiem ir jāmaina dzesēšanas sistēma.
● Augsta jaudas un skaļuma attiecība
Liela jaudas skaita attiecība padara aprīkojuma uzstādīšanu vieglāku lietotājiem.
Pieteikums
Lieljaudas MF magnetronu izstarošanas strāvas avots tiek plaši izmantots plazmas, fizikālās, ķīmiskās, medicīnas un dažādās zinātniskās izpētes jomās, tas var apmierināt plašu procesu prasības, jo īpaši vakuuma pārklājuma iekārtās.
