Kura PVD metode izmantot?

Visbiežāk sastopamie fizikālās tvaiku uzkrāšanās veidi (PVD) ir magnetronu izsmidzināšana un iztvaikošana, kas var būt vai nu siltuma, vai elektronu starojums (e-gaisma). Kā jūs varat noteikt, kad izmantot šo metodi?

KAS IR MAGNETRONA SPEKTĒŠANA?

Dūmgāzu nogulsnēšanās ir lieliski piemērota materiāliem ar augstu kušanas temperatūru, kurus nevar iztvaikot. Magnetrona izsmidzināšana ir daudzpusīgs veids, kā veidot ļoti blīvas filmas ar labu adhēziju. Magnetrona izsmidzināšana ir uz plazmas balstīta pārklājuma metode, kas ģenerē magnētiski ierobežotu plazmu netālu no mērķa virsmas. Tad pozitīvi lādēti enerģētiskie joni no plazmas saduras ar negatīvi slāpētu mērķa materiālu un no mērķa esošie atomi tiek izstumti vai "izpludināti", kas pēc tam nogulsnē uz pamatnes vai vafeles.

KĀPĒC IZMANTOJOT MAGNETRONA SPEKTĪTU:

● Lieliska plēves biezuma precizitāte un plēvju pārklājumu blīvums - panāktu blīvākus pārklājumus nekā iztvaikošana

● Ideāls metāla vai izolācijas pārklājumiem ar īpašām optiskām vai elektriskām īpašībām

● Var konfigurēt ar vairākiem magnetrona avotiem

KAS IR ATTIECĪGAIS TERMĀLAIS ATTĪRĪŠANA?

Reaktīvā termiskā iztvaicēšana ir varbūt vienkāršākā PVD forma. Tā parasti izmanto pretestības siltuma avotu, lai iztvaicētu izejmateriālu kamerā. Iztvaicētais materiāls palielinās kamerā ar siltuma enerģiju, galu galā pārklāj substrātu ar plānu plēvi. Šo procesu var izmantot metāliem vai nemetāliem, un tā ir laba izvēle elektriskiem kontaktiem.

KĀPĒC LIETOJIET pretestību termiskajā izgarojumu:

● Izmaksu efektīvs veids, kā veidot plānas metāla vai nemetālu plēves ar zemāku kušanas temperatūru

● Var izmantot indija slīpuma nogulsnēšanai, ko izmanto vafeļu savienošanā

● Augstāka nogulsnēšanas pakāpe, nekā izsmidzināšana

KAS IR E-BEAM AIZSARDZĪBA?

E-staru iztvaikošana ir termiskā iztvaicēšanas process, kas ļauj tiešu lielāka enerģijas daudzuma pārsūtīšanu izejmateriālos, nekā tas ir iespējams ar termisko iztvaikošanu. Tas ļauj nogulsnēt materiālus ar augstu kušanas temperatūru, piemēram, zeltu. Šajā metodē iztvaicēšanas materiāls tiek ievietots vai nu tīģelī, vai ar ūdeni dzesētu vara apsārtumu, kur to pēc tam silda ar elektronu staru. Siltums izraisa izejmateriāla iztvaikošanu, kas pēc tam nogulsnējas uz pamatnes.

KĀPĒC LIETOJIET E-BEAM AIZSARDZĪBU:

Darbojas dažādiem materiāliem, tai skaitā tiem, kuros ir augstāki kušanas punkti, kurus nevar iztērēt termiski

● nodrošina labāku soli pārklājumu nekā uzklāšanas vai ķīmiskās tvaiku uzklāšanas (CVD)

● Piedāvā augstāku materiālu izmantošanas efektivitāti un augstāku nogulsnēšanas pakāpi, nekā izsmidzināšana

● Savietojams ar otru jonu palīdzības avotu, kas ļauj veikt iepriekšēju tīrīšanu vai jonu nosēdumu (IAD)

Neviena metode nav piemērota izvēle katram pieteikumam. Visi trīs veidu PVD piedāvā savus ieguvumus, un tie jāizvēlas atkarībā no jūsu prasībām.