Kas ir mērķa saindēšanās Magnetrona izkliedēšanā? Kādi ir vispārējie ietekmes faktori un risinājumi?

1. Mērķa saindēšanās

◆ pozitīvo jonu uzkrāšanās

Kad mērķis ir saindēts, uz mērķa virsmas veidojas izolējošā plēve. Kad pozitīvie joni sasniedz katoda mērķa virsmu, to nevar tieši ieeļot izolācijas slāņa šķēršļa dēļ, bet uz mērķa virsmas. Tātad, aukstais lauks ir viegli radīts, kā arī loka izlāde - loka apgaismojums. Tā ka katoda spiediens nevar turpināties.

◆ Anode pazūd

Kad mērs ir saindēts, izolējošā plēve tiek arī novietota uz zeminātās vakuuma kameras sienas. Elektroni, kas sasniedz anodu, nevar iekļūt anode un izzust.

2. Ietekmējošo saindēšanos ietekmējošie faktori

Faktori, kas ietekmē mērķa saindēšanos, galvenokārt ir reaģējošās gāzes un izplūdes gāzes attiecība. Pārmērīga reakcijas gāze izraisīs saindēšanos ar mērķi. Reaktīvā izsmidzināšanas procesa gaitā izkliedes kanāla zonu uz mērķa virsmas pārklāj reakcijas produkts, vai arī reakcijas produkts tiek izlobāts, lai atkārtoti pakļautu metāla virsmu, kas tiek izslēgta un pagriezta.

Ja savienojuma veidošanās ātrums ir lielāks par savienojuma likvidēšanas ātrumu, savienojuma platība palielinās. Pie zināmas jaudas palielinās reaģentu gāzes daudzums, kas iesaistīts savienojumu veidošanās procesā, un savienojumu veidošanās ātrums palielinās. Ja reaģenta gāzes daudzums palielinās pārmērīgi, savienojuma platība palielinās.

Ja reaģējošās gāzes plūsmu nevar regulēt laikā, savienojuma pārklājuma zonas paaugstināšanas ātrumu nevar nomākt un piesārņojuma kanālu papildus sedz savienojums, kad pārklājuma mērītājs ir pilnībā pārklāts ar savienojumu, mērķis ir pilnīgi saindēts.

3. Mērķa saindēšanās šķīdums

◆ Pieņemt vidējas frekvences vai RF jaudu.

◆ Pieņemt slēgtu cilpu, lai kontrolētu reaģentu gāzes daudzumu.

◆ Izmantojiet divvirzienu mērķus

◆ Pārvaldiet pārklāšanas režīma pārveidošanu. Pirms pārklājuma savāciet mērķa saindēšanās histērīzes efekta līkni, lai ievades plūsma būtu kontrolēta mērķa saindēšanās priekšpusē un pārliecinātos, ka process vienmēr ir tādā režīmā, ka pirms nogulsnēšanās ātruma strauji samazinās.