Vakuuma jonu pārklāšana
Jul 15, 2022| Vakuuma jonu pārklāšana
Iztvaikojošā materiāla molekulas tiek jonizētas ar elektronu sadursmi un pēc tam ar jonu palīdzību nogulsnējas uz cietās virsmas, ko sauc par jonu pārklājumu. Šo metodi 1963. gadā ierosināja D. Metokss. Jonu pārklāšana ir vakuuma iztvaikošanas un katoda izsmidzināšanas kombinācija. Jonu pārklājuma sistēma parasti izmanto substrātu kā katodu, apvalku kā anodu, un tā ir piepildīta ar inertu gāzi (piemēram, argonu), lai radītu spīduma izlādi. Molekulas, kas iztvaikotas no iztvaikošanas avota, jonizējas, šķērsojot plazmas reģionu. Pozitīvie joni tiek paātrināti līdz substrāta virsmai ar negatīvu spriegumu. Savienoti neitrālie atomi (apmēram 95 procenti iztvaicētā materiāla) tiek nogulsnēti arī uz pamatnes vai vakuuma kameras sienas virsmas. Plēves adhēzijas izturību ievērojami uzlabo jonizēto tvaiku molekulu paātrinājums ar elektrisko lauku (jonu enerģija ir aptuveni vairāki simti ~ vairāki tūkstoši elektronu voltu) un substrāta izsmidzināšana ar argona jonu. Jonu pārklāšanas process apvieno iztvaikošanas (augsts nogulsnēšanās ātrums) un izsmidzināšanas (laba plēves saķere) īpašības, un tam ir laba difrakcija, ko var izmantot sarežģītas formas sagatavju pārklāšanai.
Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas mašīna, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts:iks.pvd@foxmail.com