Vakuuma pārklāšanas iekārtas instrumentiem

Piemēram, izmantojot vakuuma pārklāšanas iekārtas instrumentiem, daudzi jaunākie sasniegumi ir veikti starptautiskā mērogā. Universālas magnētiskā lauka sistēmas [3] izstrāde un izmantošana var sasniegt vienmērīgu pārklājuma struktūru, uzlabot mērķa izmantošanu un palielināt ražu; Tas var atbilst mūsdienu vakuuma loka jonu pārklājuma tehnoloģijas prasībām. Tas var realizēt bezgalīgi mainīgu magnētisko lauku un efektīvi kompensēt mērķa zuduma ietekmi. Loka avota magnētiskā lauka sistēmu var pielāgot atbilstoši nitrīda, oksīda vai metāla pārklājuma sagatavošanas vajadzībām. Pielāgojot pastāvīgā magnēta un mērķa relatīvo pozīciju (2. attēls) vai elektromagnētiskās spoles strāvas raksturlielumus (3. attēls), mērķa iztvaikošanas ātrumu var uzturēt nemainīgu visā mērķa dzīves cikla laikā [{{ 3}}]. Var ņemt vērā arī sagatavoto plēvju virsmas īpašības un plēvju nogulsnēšanās ātrumu. Plazmas optimizētāja izmantošana (tostarp nodrošinātā magnētiskā lauka regulēšanas funkcija) var likt vietai galvenokārt palikt mērķa virsmas perifērajā zonā, palielināt vietas kustības ātrumu, kontrolēt vakuuma kameras plazmas blīvumu, augšanas ātrumu. plēves un plazmas aktīvo daļiņu jonizācijas ātrumu. Redzams, ka plazmas optimizētājs var uzlabot plazmas regulēšanas funkciju, kas palīdz realizēt personalizēto pārklājuma struktūru un pārklājuma produktu diferenciāciju. Piemēram, tas var kavēt difūzijas uzvedību plēves augšanas laikā, ierobežot sešstūrainu fāzes struktūru veidošanos un veicināt vienas kubiskās fāzes struktūras veidošanos [6]. Uzlabotā sildīšanas kodināšanas tehnoloģija var palielināt kodināšanas ātrumu, uzlabot kodināšanas viendabīgumu un samazināt pārklāšanas mašīnas apkopes ciklu. Ļauj plašu pielāgoto parametru klāstu, lai iegūtu īpašu instrumentu virsmu; Tas nodrošina izcilu pārklājuma adhēziju un palīdz uzlabot pārklājuma instrumentu veiktspēju, kalpošanas laiku un atkārtotas ražošanas veiktspēju. Pašlaik sadzīves vakuuma pārklājuma iekārtu izstrāde liecina, ka vispārējā magnētiskā lauka sistēmas tehnoloģija nav pilnībā apgūta, un uzlabotai plazmas optimizētājam un sildīšanas kodināšanas tehnoloģijai ir noteikta izpēte, izstrāde un pielietojuma bāze.

Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas mašīna, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com