Tipiska tipa vakuuma sistēma
Jun 30, 2018| Sistēma, kas izmantota noteiktu procesu prasību izpildei, kas spēj iegūt un mērīt specifisko nepieciešamo vakuumu, sauc par vakuuma sistēmu. Pilnīgāka vakuuma sistēma sastāv no vakuuma kameras, nepieciešamā vakuuma sūkņa vai vakuuma iekārtas, vakuuma mērīšanas ierīces, savienojuma caurules, vakuuma vārsta, lamatas un citu vakuuma komponentu un elektriskās vadības sistēmas. Tipiska vakuuma sistēma ir parādīta 1. un 2. attēlā.
1. Vakuuma kameras izplūdes vārsts 2. Ionizācijas vakuuma mērītājs 3. Termoelementu vakuuma mērītājs 4. Plūsmas regulēšanas vārsts
5. Augsta vakuuma vārsts 6. Difūzijas sūknis 7. Gāzes uzglabāšanas tvertne
8. Termoelementu mērītājs (pasākumi difūzijas sūkņa pirmsslādes spiedienam). 9. Aizsardzības vārsts 10. Spiediena sensors
11. Pirmssūknēšanas vārsts 12. Sūkņu vakuumsūknis 13. Apgāšanās vārsts 14. Elektromagnētiskais vārstu blīvējums
15. Mehāniskais vakuumsūknis
1. attēls. Tipiskās vakuuma sistēmas shematiska shēma
1. Vakuuma kamera 2. Ionizācijas vakuuma mērītājs 3. Termoelementu vakuuma mērītājs 4. Iztukšošanas vārsts
5. Augsta vakuuma vārsts 6. Aukstā slazda 7. Izkliedes sūknis 8. Aizsardzības vārsts 9. Elektromagnētiskais asinsvadu vārsts
10. Mehāniskais vakuumsūknis 11 Pirmssūknēšanas vārsts
2. attēls. Tipiskās vakuuma sistēmas shematiska shēma