Izsmidzinošā pārklājuma forma
Mar 24, 2023| Izsmidzinošā pārklājuma formas tērps
Izsmidzināšanas pārklājumam: to var vienkārši saprast kā elektronu izmantošanu vai lielas enerģijas lāzera bombardēšanu uz mērķa, un virsmas komponenti atomu grupu vai jonu veidā tiek izsmidzināti un visbeidzot tiek nogulsnēti uz substrāta virsmas, iziet plēves veidošanas procesu un beidzot veido plēvi. Izsmidzināšanas pārklājumu var iedalīt vairākos veidos. Vispārīgi runājot, atšķirība starp izsmidzināšanas ātrumu un iztvaikošanas pārklājumu ir tāda, ka izputināšanas ātrums kļūs par vienu no galvenajiem parametriem. Lāzera izsmidzināšanas pārklājumā pld komponentu viendabīgumu ir viegli uzturēt, bet biezuma viendabīgums atomu mērogā ir salīdzinoši zems (jo tā ir impulsa izsmidzināšana), un arī kristāla augšanas kontrole (ārmala) ir samērā vispārīga. Ņemot par piemēru pld, galvenie faktori ir: mērķa materiāla un substrāta režģa atbilstības pakāpe, pārklājuma atmosfēra (zema spiediena gāzes atmosfēra), substrāta temperatūra, lāzera jauda, impulsa frekvence, izsmidzināšanas laiks. Dažādiem izsmidzināšanas materiāliem un substrātiem vislabākie parametri ir jānosaka eksperimentāli, kas ir atšķirīgi. Pārklājuma iekārtu kvalitāte galvenokārt ir atkarīga no tā, vai tā var precīzi kontrolēt
temperatūra, vai tā var nodrošināt labu vakuuma pakāpi, vai tā var nodrošināt labu vakuuma kameras tīrību. MBE molekulāro staru ārējā pārklājuma tehnoloģija ir atrisinājusi iepriekš minētās problēmas, taču pamatā tā tiek izmantota eksperimentālajiem pētījumiem. Integrētā pārklāšanas mašīna, ko parasti izmanto rūpnieciskajā ražošanā, galvenokārt balstās uz jonu iztvaikošanas pārklājumu un magnetronu izsmidzināšanas pārklājumu.

Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas iekārta, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com


