Aktīvās gāzes sūknēšanas ātrums ar jonu sūkni
Sep 13, 2023| Aktīvās gāzes sūknēšanas ātrums ar jonu sūkni
Dažas gāzes ir ķīmiski aktīvākas, piemēram, ūdeņradis, skābeklis, slāpeklis, oglekļa monoksīds, oglekļa dioksīds utt., un tās var viegli veidot stabilus savienojumus ar lielāko daļu metālu. Jonu sūknī šīs aktīvās gāzes molekulas reaģē ar svaigu titānu (vai tantalu), kas izsmidzināts ar katoda jonu bombardēšanu, veidojot cietus savienojumus, piemēram, titāna nitrīdu un titāna oksīdu, kas tiek "izsūknēti" (patiesībā tos patērē reakcija). Papildus tam, ka aktīvā gāze reaģēs ar izsmidzināmo svaigo katoda materiālu, tā tiks arī ievadīta un izkliedēta katoda materiālā un paliks tur, tādējādi panākot "izsūknēšanas" efektu; Tomēr papildus ūdeņradim lielākā daļa aktīvās gāzes netiek ievadīta katoda materiālā ļoti dziļi, šīs gāzes daļas, kas tiek ievadītas katodā pēc noteikta daudzuma sasniegšanas, tiks atbrīvotas sekojošā jonu bombardēšanā, ko sauc par piesātinājuma efekts (skatiet rakstu: jonu sūkņa piesātinājuma sūknēšanas ātrums, nepiesātinātā sūknēšanas ātrums un nominālais sūknēšanas ātrums). Zemā spiedienā Diode sūknim ar tādu pašu nominālo sūknēšanas ātrumu ir vislielākais sūknēšanas ātrums aktīvajām gāzēm, kam seko Noble Diode, un pie lielāka spiediena (virs 5E-6 mbar) StarCell jonu sūknim ir vislielākais sūknēšanas ātrums. ātrumu.
Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas mašīna, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com