ZnO ražošanas procesu: Al (AZO) plānas filmas magnetronus sprauslāt pārklājums
Nov 04, 2018| Process, kurā ražo ZnO: Al (AZO) plānas filmas magnetronus sprauslāt pārklājums
Šobrīd galvenais plānas plēves saules baterijas ietver: CD (CdTe) plānas plēves saules baterijas, se (CIS) plānas plēves saules baterijas, Amorfā silīcija plānas plēves saules baterijas un kristāliskā silīcija plānas plēves saules baterijas. Pētnieki ir izstrādājuši zamšādas ZnO: Al iecirtums struktūru, kas ir lēts, bagāti ar izejvielām un netoksisks un stabilu sniegumu. AZO pārredzamu vadošs filmu ar līdzīgu krāteris zamšādas struktūru var uzlabotu saules gaismas izkliedes efektu, uzlabotu medību rīku lietošanas efektu, saules enerģijas absorbēšanu akumulatora un uzlabotu konversijas efektivitāti plānas plēves saules baterijas. Magnetronus tīstīdamās pārklāšanas procesa veikšanai AZO pārredzamu vadošs filmu par stikla substrāta ir priekšrocības, strauja filmu veidošanu, vienādu filmu slāni un platība veido lielu filmu.
Magnetronus sprauslāt pārklāšanas procesa pamatprincips: speciālie anodu un katodu tiek novietotas slēgtā vakuuma kamerā, kur katoda ir aprīkots ar šļakatas materiāls, un Ak, O2 un N2 citu procesu gāzes piepildīšanas vakuuma kamerā. Saskaņā ar darbības ārējo spriegumu, procesu gāzes molekulu ražo plazmas jonizācijas un formu. Pozitīvi lādētu jonu virza uz katoda elektrisko lauku, un viņi bombardēt mērķa materiāla virsmas. Atomi bombardēti mērķa noguldījumu ar noteiktu ātrumu, lai veidotu kārtiņa uz stikla virsmas. Attiecībā uz mērķa materiālu izvēli, pastāv divu veidu vadošs caurspīdīga plēve AZO ražošanā pašlaik izmanto magnetronus tīstīdamās procesa mērķa materiālus. Cinks - alumīnija sakausējuma mērķi. Saskaņā ar faktisko situāciju, izvēlēties piemērotas mērķa produktiem. Attiecībā uz stikla substrāta apkures temperatūru, tiek pierādīts, ka stikla substrāta temperatūra ir zema, filmu atomi uz substrāta kustību spēja ir zema, filmu veido ātrums tiek samazināts, palielina filmu slāņa asumiem, galvojumu spēku starp filmu un stikla substrāta ir novājināta, un pretestība ir palielinājusies. Augsts stikla temperatūras noderēt kārtiņa izaugsmei, membrānas slānis gludas formas tērpā, membrānas slānis saule augsta gaismas caurlaidība, vispārējā substrāta temperatūra ir no 200 ~ 300℃. Attiecībā uz atlases sprauslāt gāzes spiediens, magnetronus sprauslāt pienācīga spiediena diapazons ir 1.33 x 10-1 Pa ~ 1.33 x10-2 Pa apjomā. Ja spiediens ir pārāk augsta vai pārāk zema, nav labas kvalitātes AZO pārredzamu vadošs filmu veidošanos veicina.
Kā jaunu TCO materiālu AZO ir lielas priekšrocības pār ITO un FTO. Lai sasniegtu mēroga industrializācijas, turpmāka pētniecība un attīstība, kā samazināt izmaksas, iekārtu un procesu jāveic. Pamatos, AZO plānas filmas strukturālo darbību nosaka viņu Fotoelektrisks veiktspēju. Vairāk pētījumu ir jābūt darīts par procesa parametriem, sasniegt win-win situāciju, augstas kvalitātes un zemas izmaksas.
IKS PVD pielāgota piemēroti pvd vakuuma pārklāšanas mašīnas jums, sazinieties ar mums tagad,
IKS.PVD@foxmail.com