PVD pārklājuma iekārtu piedziņas sistēma un dzesēšanas sistēma
Mar 31, 2018| Piedziņas sistēma
Piedziņas sistēma ļauj substrātam plūst no substrāta ievietošanas ierīcē, lai izsmidzinātu nogulsnēšanos, un iziet no ierīces pēc apstrādes pabeigšanas. Piedziņas sistēma sastāv no piedziņas mehānisma, ritināšanas riteņa, frekvences pārveidotāja un tā tālāk. Ierīces pievienošanas iemesli ir šādi:
(1) Pārliecinieties, ka vienoti biezie pārklājumi ir plaši izplatīti.
(2) Viegli realizējama automatizēta pārraide.
Dzesēšanas sistēma
Dzesēšanas sistēma galvenokārt sastāv no mērķa cirkulējošā ūdens molekulāro sūkni, kameru, sūkņu grupas un motora dzesēšanas cirkulācijas ūdens. Tās galvenā funkcija ir atdzesēt vakuuma kameru, sūkni, piedziņu, barošanu utt. Atdzesēšanas ūdens prasības ir šādas:
(1) Temperatūra: 17 ~ 22 ° C;
(2) spiediens: 2 ~ 3e0.05Pa;
(3) Magnētiskās daļiņas jānoņem no ūdens, un ūdens vajadzētu būt mīkstinātam, pH = 6 ~ 8.