Nesagraujošā Magnetrona pārklājuma pārklājuma cēlonis

Neatkarīgi no tā, kāda veida vakuuma izmaksas iekārta, noteiktais faktors ietekmēs pārklājumu viendabīgumu.

Magnetronu putekļainās vakuuma pārklājuma mašīnas darbība ir panākt, lai elektroni bombardē argona jonus, ko veido argona gāze, un pēc tam bombardē mērķi ar ortogonālo magnētisko lauku zem vakuuma stāvokļa, un mērķa joni tiek noglabāti apstrādājamās detaļas virsmā lai veidotu pārklājumu. Tāpēc mēs varam uzskatīt, ka vakuuma stāvoklis, magnētiskais lauks un argons ir trīs aspekti, kas saistīti ar plēves biezuma vienmērīgumu.

Vakuuma stāvokli kontrolē gaisa sūknēšanas sistēma. Katrā sūkņa ostā vienlaicīgi jāaktivizē tā, lai nodrošinātu sūknēšanas vienveidību. Ja sūknēšana nav vienmērīga, spiediens vakuumcaurā var nebūt vienveidīgs, jo spiediens zināmā mērā ietekmē jonu kustību. Turklāt sūknēšanas laiks ir jāpārrauga. Pārāk īss laiks radīs nepietiekamu vakuumu, taču tas būs resursu izšķiešana, ja tas ir pārāk garš. Bet vakuuma mērinstrumentu esamība padara to par nepieciešamu.

Magnētiskais lauks darbojas ortogonāli, bet magnētiskā lauka intensitāte nav vienāda ar 100%. Kopumā, ja magnētiskais lauks ir spēcīgs, plēves biezums būs liels un otrādi, tāpēc plēves biezums būs pretrunīgs.

Argona gāzes piegādes vienveidība ietekmē arī plēves slāņa viendabīgumu. Princips ir līdzīgs vakuuma grādam. Sakarā ar argona gāzes ievadīšanu spiediens vakuuma kamerā attiecīgi mainīsies. Plēves biezuma vienveidību var kontrolēt ar vienmērīgu spiedienu.

Lai gan vienmēr ir vairāki faktori, kas izraisa filmas nevienmērīgumu, bet filmas pārejas ātrums ir ļoti liels, ja tiek veikta vakuuma pārklājuma mašīnas pareiza darbība.