Labākās noplūdes noteikšanas metodes PVD pārklāšanas mašīnai

Bubble Method Detection

PVD pārklājuma burbuļu metodes noteikšana ir ieteicama PVD pārklājuma tvertnēm vai ierīcēm, kuras tiek apstrādātas. PVD pārklājuma burbuļu metodes noteikšana nozīmē, ka testējamā daļa jāpilda ar zināmu spiediena pazemināšanas indikatora gāzi, un pēc tam pārbaudīto daļu ievieto šķidrumā. Gāze iekļūs apkārtējā šķidrumā caur noplūdes caurumu, veidojot burbuļus. Un vieta, kur atrodas burbuļi, ir noplūžu cauruma stāvoklis. Turklāt cauruma noplūdes ātrumu var novērtēt atkarībā no veidošanās ātruma un burbuļu lieluma, kā arī ar noplūdes indikācijas gāzes fizikālajām īpašībām.

Vāciņu metode atklāšana

Pārklājuma metodes noteikšana attiecas uz metodi, kas aptver visu PVD pārklājuma ierīci ar etilēna plastmasas maisiņu (vāku), un pēc tam maisu iepilda ar hēliju, tas ir, viss vakuuma trauks ir iegremdēts hēlijā, lai noteiktu noplūdes. Pēc gāzes pilnīgas evakuēšanas iztukšojiet galveno vārstu, neapstrādāto vārstu un noplūdes vārstu. Un pēc tam izmantojiet BA jonizācijas vakuuma mērītāju, lai izmērītu spiediena pieauguma izmaiņas, lai noteiktu, vai ir noplūde.

PVD pārklājums ir spiediena pieauguma summa sakarā ar gāzes noplūdi un spiediena pieaugumu, ko izraisa materiāla degazēšana, un visbeidzot tas ir lineārais pieaugums, kas ir proporcionāls laika. Ja PVD pārklājuma līknei ir tāds stāvoklis, kā aprakstīts iepriekš, tas nozīmē, ka ierīce ir noplūdusi. Ja nav noplūdes un tikai materiāla degazēšana, līknei jābūt piesātinātai. Ja ir tikai noplūde bez materiāla degazēšanas, tas ir taisna līnija, kas ir proporcionāla laika sākumam.