Sprauslas uzklāšanas metode alumīnija plēvei

Lai samazinātu izsmidzināšanas sistēmā izmantoto mērķu skaitu, paredzēts, ka viens mērītājs izspiež un noformē sakausējuma plēves, kas atbilst sastāva un veiktspējas prasībām. Tādējādi šajā gadījumā var izmantot sakausējuma mērķus, kompozītmateriālu apdares objektus un multi-mērķa izsmidzināšanu.

Vispārīgi runājot, iztukšošanas līdzsvara stāvoklī saskaņā ar mērķa sastāvu attiecīgi tiek pakļauti dažādi atomu sastāvi. Viena pārslodzes pārklājuma priekšrocība salīdzinājumā ar vakuuma iztvaikošanu un jonu pārklājumu ir tā, ka atšķirība starp plēves slāņa un mērķa sastāvu ir maza un pārklājuma sastāvs ir stabilāks. Tomēr dažos gadījumos, pateicoties dažādu kompozīcijas elementu selekcijas sprauslām parādībai, dažāda apgriezienu pārslodzes ātrums un plēves saķeres spēks, plēves slāņa un mērķa sastāvs var būt ļoti atšķirīgi. Izmantojot šāda veida sakausējuma mērķus, lai iegūtu atsevišķu komponentu plēvi, pēc iespējas jāmazina substrāta temperatūra, lai samazinātu saķeres ātruma atšķirību papildus konkrētā mērķa formulēšanai saskaņā ar eksperimentu un minimizētu mērķa temperatūra. Arī atbilstošie procesa apstākļi samazinās filmas atgriezenisko spiedienu.

Dažos gadījumos ir grūti sagatavot liela platuma vienmērīgu sakausējumu mērķi vai saliktu mērķi. Tātad, var izmantot kombinēto mozaīkas mērķi, kas sastāv no atsevišķiem elementiem. Mērķa virsmas sastāvs ir parādīts 1. attēlā. Starp tām ir visefektīvākā vējstikla mozaīkas struktūra (d), to viegli kontrolēt, un atkārtojamība ir laba. Principā ar šo metodi var izgatavot ne tikai bināro sakausējumu, bet arī ternu, četrkārtas sakausējumu plēves.

1. att. Kombinētie mērķi dažādās struktūrās

(a) kvadrātveida mozaīkas mērķis (b) apaļais mosīcas mērķis (c) mazais apaļais mosīcas mērķis (d) ventilatora mozaīkas mērķis

Multi-mērķa izsmidzināšanas struktūra parādīta 2. attēlā. Substrāts tiek pagriezts virs diviem vai vairākiem mērķiem, un katras plēves nosēdumu biezums tiek kontrolēts, lai tas būtu viens vai vairāki atomu slāņi, un plēve nogriežas pagriezienus, lai iegūtu savienojuma plēvi. Piemēram, In1-xGax Sb monokristāla plēve tika sagatavota ar InSb un GaSb mērķiem. Kaut arī šī ierīce ir sarežģīta, bet komponentu plēvi var iegūt, kontrolējot pamatnes rotācijas ātrumu un nomainot spriegumu, kas tiek piemērots katram mērķim. Šos parametrus var vadīt atkarībā no pārklājuma laika, filmas sastāvs mainās plēves biezuma virzienā, un var iegūt virsmas režģa struktūru.

2. attēls. Daudznozaru uzliesmošanas struktūras shematiska shēma

Papildu katoda metodi parasti izmanto, ja atšķirība starp filmas komponentiem ir liela. Galvenais katoda mērītājs ir izgatavots no sakausējuma galvenās sastāvdaļas, un palīgmetāla katode ir izgatavota no sakausējuma piedevas komponenta. Katrs mērķis tiek vienlaicīgi izšļakstīts, lai veidotu sakausējuma plēvi. Pielāgojot palīgmetrāžas katoda strāvu, sakausējuma plēves pievienoto komponentu daudzumu var patvaļīgi mainīt.