Vairākiem jonu avoti, kas parasti tiek izmantots pārklājuma

·         Vairākiem jonu avoti, kas parasti tiek izmantots pārklājuma

Kaut arī pastāv daudzi veidi, jonu avotu, mērķis ir ne vairāk kā on-line tīrīšana, uzlabojot enerģijas sadali un modulācijas virsmas pārklāšanas palielināt reaktīvā gāzes enerģijas. Jonu avots var ievērojami uzlabot filmu un matricas galvojumu spēku un filma pati cietība un nodiluma izturība arī uzlabotas. Ja rīku apšuvuma nodilumu izturīga slānis ir lielāks kopumā un plēves biezums viendabība nav nepieciešama augsta, jonu avoti ar lielākiem jonu pašreizējo un augstākas enerģijas līmeni var izmantot, piemēram, zāle jonu avots vai anoda jonu avots.

Anoda slāņa jonu avots ir līdzīgs zālē jonu avots princips. Šauru apļveida (taisnstūra vai apaļu) sagriežot pastiprinātas magnētiskais lauks tiek lietota jonizē gāzes darba pasākumā anodu un sagatave virzienā. Anoda slāņa jonu avots var veikt ļoti liela un gara, īpaši piemērots lielām ņiem, piemēram, celtniecības stikla pārklājums. Anoda slāņa jonu avots jonu strāvu ir arī liela. Bet jonu plūsma ir vairāk atšķirīgas un enerģijas līmeni sadalījums ir par platu. Vispārēji piemērojami lielu ņiem, stikla, nodilumu, dekoratīvie ņiem. Bet pieteikums par modernu optisko pārklājumu nav pārāk daudz.

Kaufman jonu avots ir agrīnā jonu avotu piemērošanu. Tas pieder pie režģa jonu avots. Pirmkārt, katoda rada plazmas kamerā jonu avotu un tad jonu ekstrahē no plazmas dobumā, divas vai trīs anoda režģus. Šāda veida jonu avots ir spēcīga directivity un koncentrētu jonu enerģijas joslas platums, ko var plaši izmantot vakuuma pārklājumu. Negatīvie ir, katoda (bieži vien volframa) sadeg ātri reakcijas gāzu un ka pastāv ierobežojumi jonu plūsmu, kas var būt neērti, lietotājiem, kam nepieciešama liela jonu plūsmu.

Zāle jonu avots ir anoda spēcīgu aksiālā magnētisko lauku procesu gāzu jonizācijas sadarbība. Aksiālo magnētiskajā laukā stipra nelīdzsvarotība atdala gāzes joni un veido jonu staru kūļa. Aksiālā magnētiskais lauks ir pārāk spēcīga, tāpēc, ka zālē jonu avots jonu staru kūļa vajadzībām papildināšanai neitralizēt jonu plūsmas elektroniem. Kopējo neitralizācijas avots ir volframa kvēldiega (katodu).

Zāle jonu avotu īpatnības:

1. vienkārša un izturīgas;

2 jonu strāvu ir gandrīz proporcionāla gāzes plūsmu un var iegūt lielu jonu strāvu;

3. volframa kvēldiegs parasti dala kontaktligzdas un jonu staru ietekme ātri izskaloti, jo īpaši attiecībā uz reaktīvā gāzēm, kas ir jānomaina 10 stundu laikā. Un tur būs daži piesārņojumu no volframa kvēldiegs. Lai atrisinātu volframa stieples bojājumi. Nav vairs dzīves neutralizers kā mazs doba katoda avots.

Zāle jonu avots ir visplašāk izmanto jonu avots.

Piemērojami IKS PVD jonu avoti.

Ja nodiluma izturīga dekoratīvās plēves apšuvuma, plēves biezums un nepieciešamību spēcīgam adhēziju un vienotas prasības nav augstas. Zāle jonu avots ir pieejams. Jonu strāvu ir liela un jonu enerģijas līmenis ir augsts. Ja tas ir pārklāts ar optiskās plēves, jonu pašreizējā enerģijas koncentrācija, galvenās prasības jonu pašreizējo vienotību. Tāpēc labāk izmantot Kaufman vai RF jonu avotu un nosacījuma ECR (elektronu ciklotrona) vai ICP(induction coupling) jonu avotu izmantošanu. Arī uzskata, palīgmateriāliem, piemēram, halogēna vadiem, kas izdegt reakcijas gāzu apmēram 10 stundas. Uzlabotas jonu avoti, piemēram, ICP var strādāt pastāvīgi reaktīvs gāzēs simtiem stundu.

Lamp pārklātās alumīnija filmas. Tā kā metāla plēve, protams, DC magnetronus sprauslāt ir laba. Ātrums ir ātri. Starpposma biežums ir piemērots pārklājumu barības filmu. Ja jonu avotu, jonu avots zālē ir pietiekami. Bet pievērsiet uzmanību lampas izmēri. Parasti zāle jonu avots ir apaļa, platība, ko aizņem jonu avots ir ierobežota. Ir jāaptver visi ņiem ar jonu staru. Ja parasto zāles jonu avots ir pārāk mazs, anoda slāņa jonu avotu var uzskatīt. Viens iemesls jonu avoti nav svelme ir magnētiskais lauks ir pārāk vājš, lai satraukt plazmā. Ir daudz veidu jonu avotiem, bet viņi būtībā ražo plazmas vispirms tad izvilkt no plazmas gāzes jonu un paātrināt tās jonu staru, tad aizmugures redzes injicēt elektroni un jonu plūsmas.