Problēmas un risinājumi DLC pārklājums
Mar 20, 2018| DLC pārklājums rekvizīti
DLC veiktspēja ir starp dimanta un grafīta, kas parāda gan augstu cietību un lielisks berzi, kā arī tikpat labs anti-līmi īpašības.
◆ Mehāniskās īpašības:
Augstu cietību, augstu elastības moduli, augsta siltumvadītspēja, zems termiskās izplešanās koeficients, zema blīvuma, lielisks nodiluma izturība un zemu berzes koeficientu.
◆ Elektriskās īpašības:
Elektronu zema afinitāte, liela elektriskā pretestība, zemu dielektrisko konstanti
◆ Optiskās īpašības:
Augstas caurlaidības redzamās gaismas un tuvu infrasarkano rajonos, optisko zemu joslas plaisa, refrakcijas koeficients ir 1,7 līdz 2.4, augstu lāzera zaudējumu slieksnis.
◆ Ķīmiskās īpašības:
Laba bioloģisko, ultra-augstas ķīmisko inertumu, skābes un sārmu izturība, laba hidrofobitātes.
Problēmas un risinājumi DLC pārklājums
Problēmas
◆ Augstu iekšējo spriegumu
Parastos apstākļos iekšējo spriegumu, elastīgo moduli un pārklājuma cietība ir tieši proporcionāli viens otram tā, ka lielāka cietība pārklājuma, lielāku iekšējo spriegumu. DLC filmu ir ļoti liela cietība, kā arī augstu iekšējo spriegumu, kas padara filmu DLC saķeres substrātam samazina un stabila filma, kas nodots glabāšanā, substrāta maksimālo biezumu ierobežo arī. Turklāt, plēves biezums vienveidība ir ietekme uz iekšējo spriegumu.
◆ Nabaga termisko stabilitāti
DLC parasti metastable fāze-kristāliskā struktūra. Tādēļ laikā temperatūra pieaug DLC pārklājums tiks graphitized, t.i., sp3 obligāciju vērsties sp2 obligāciju rezultātā struktūru un pildot DLC pārklājums tiks mainīts.
Risinājumi
◆ Daudzkārtu film
Daudzkārtu filmas TiC/Ti/DLC un Ti/TiN/TiCN/DLC uz substrāta uzkrāšanās var lielā mērā samazināt iekšējo spriegumu starp DLC pārklājums un substrāta.
◆ Gradienta film
Depozītu gradienta pārejas slāņi Cr/CrN/CrNC/CrC/Cr-DLC un Ti/TiN/TiCN/TiC/Ti-DLC jonu avotu un sputtering nosēdumu tehnoloģijas substrāta var efektīvi atbrīvot stresu un efektīvi uzlabot saikni starp pārklājuma izturība un substrāta.
◆ Dopings
Bez metāla (N, B, Si) dopinga var samazināt DLC pārklājums iekšējo spriegumu un uzlabot tās termisko stabilitāti. Un dopinga metāla (Cr, Ti, W) var uzlabot cietība un nodiluma izturība DLC pārklājums un samazināt tās berzes koeficientu.