Noplūdes noteikšana augstam vakuumam, īpaši augstam vakuumam un īpaši augstam vakuumam
Nov 27, 2023| Noplūdes noteikšana augstam vakuumam, īpaši augstam vakuumam un īpaši augstam vakuumam
Neviena vakuuma ierīce vai sistēma nevar sasniegt absolūtu vakuuma blīvējumu, un tas nav jādara. Tas ir neapstrīdams fakts, ka noplūdes ātrumam jābūt pietiekami zemam, lai netiktu pārmērīgi ietekmēts nepieciešamais darba spiediens, gāzes bilance un robežspiediens vakuuma tvertnē. Augsta, īpaši augsta un ārkārtīgi augsta vakuuma gadījumā vienīgais uzticamais veids, kā noteikt noplūdes ātrumu, kas mazāks par 10-7mbar·L/s, ir hēlija masas spektrometra noplūdes detektors. Noplūdes cauruma ekvivalentais diametrs ir 10-12mbar·L/s, kas ir arī hēlija molekulas diametrs un ir mazākais noplūdes ātrums, ko var noteikt. Šī saistība ar hēliju ir viens no iemesliem, kāpēc hēliju izmanto kā marķiergāzi, un analīzei/mērīšanai izmanto masas spektrometrus, un tas ir viens no iemesliem, kāpēc šī metode ir visprecīzākā un ātrākā noplūdes noteikšanas metode.

Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas mašīna, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com


