Jonu vakuuma pārklāšana

Jonsvakuumsapšuvums
Iztvaicētā materiāla molekulas tiek jonizētas elektronu sadursmes rezultātā un jonu veidā nogulsnējas uz cietās virsmas, ko sauc par jonu apšuvumu. Tehniku ​​izstrādāja D. mettox 1963. gadā. Jonu pārklāšana ir vakuuma iztvaicēšanas un katoda izsmidzināšanas kombinācija. Substrāts tiek izmantots kā katods un korpuss kā anods, un inertā gāze (piemēram, argons) tiek piepildīta, lai radītu mirdzošu izlādi. Jonizācija notiek, kad no iztvaicēšanas avota iztvaikojušās molekulas iziet cauri plazmas reģionam. Pozitīvos jonus uz pamatnes virsmu paātrina pamatnes negatīvais spriegums. Apvienotie neitrālie atomi (apmēram 95% no iztvaikošanas materiāla) tiek nogulsnēti arī uz vakuuma kameras pamatnes vai sienas virsmas. Elektriskā lauka paātrinājuma ietekme uz jonizētajām tvaika molekulām (jonu enerģija ir aptuveni vairāki simti ~ vairāki tūkstoši elektronvoltu) un argona jonu izsmidzinošā tīrīšanas ietekme uz pamatni ievērojami uzlabo filmas saķeres izturību. Jonu apšuvuma process apvieno iztvaikošanas (augsts nogulsnēšanās ātrums) un izsmidzināšanas (laba filmas saķere) īpašības, un tam ir labas difrakcijas īpašības, ko var izmantot, lai sagatavi pārklātu ar sarežģītu formu.

IKS PVD uzņēmums, dekoratīvo pārklājumu mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, optiskā pārklājuma mašīna, PVD vakuuma pārklāšanas līnija. Ir pieejams gatavas atslēgas projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com