Magnetronu izsmidzināšanas procesa parametru ietekme: Mērķa bāzes attālums
Sep 04, 2024| Magnetronu izsmidzināšanas procesa parametru ietekme: mērķa-bāzes attālums
(Cr,Ti,Al)N kvartārā pārklājuma ķīmisko sastāvu un struktūru var regulēt, mainot attālumu starp mērķi un substrātu, un var ietekmēt dažādas pārklājuma īpašības. Jin Jie et al. izmantoja slēgta lauka nelīdzsvara magnetronu izsmidzināšanas tehnoloģiju, lai uzklātu (Cr,Ti,Al)N pārklājumus uz H13 tērauda matricas, un pētīja un analizēja (Cr,Ti,Al)N kvartāro pārklājumu biezumu, sastāvu un īpašības dažādos mērķos. pamatnes attālumi (80~180 mm) [61]. Eksperimentālie rezultāti liecina, ka, palielinoties mērķa-bāzes attālumam, strauji samazināsies magnētiskā lauka intensitāte, kā arī samazināsies jonu strāvas blīvums, kas novedīs pie nogulsnēšanās ātruma un pārklājuma biezuma samazināšanās. Turklāt, palielinoties mērķa-bāzes attālumam, metālu elementu saturs (Cr,Ti,Al) N pārklājumos nepārtraukti samazinās, bet slāpekļa elementu saturs nepārtraukti palielinās. Pārklājuma virsmas mikrocietība un plēves bāzes saistošais spēks vispirms palielinājās un pēc tam samazinājās. Tomēr pārklājuma nodiluma apjoms un nodiluma ātrums vispirms samazinājās un pēc tam palielinājās, tas ir, pārklājuma nodilumizturība vispirms palielinājās un pēc tam samazinājās. Tas ir tāpēc, ka pārklājuma cietība un saistošais spēks būtiski ietekmē tā berzes un nodiluma īpašības. Jo mazāks ir plēves pamatnes saistīšanas spēks, jo lielāka iespējamība, ka pārklājums berzes laikā saplaisās un pārslās, tādējādi samazinot pārklājuma nodilumizturību.
Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas iekārta, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com