Lieljaudas impulsu magnetronu izsmidzināšanas tehnoloģija

Lieljaudas impulsu magnetrona izsmidzināšanas tehnoloģija

Lieljaudas impulsu magnetronu izsmidzināšanas tehnoloģija izmanto impulsu plazmas izlādi magnetronu izsmidzināšanas procesā. Tā ir sava veida impulsu izsmidzināšanas tehnoloģija, kas izmanto lielāku impulsa maksimālo jaudu un zemāku impulsa darba ciklu, lai sasniegtu augstu mērķa izsmidzināto atomu jonizāciju. Lieljaudas impulsu magnetronu izsmidzināšanas tehnoloģija apvieno zemas temperatūras nogulsnēšanas priekšrocības, gludu virsmu un bez daļiņu defektiem, kā arī priekšrocības, ko sniedz augsts jonizācijas ātrums, spēcīgs uz plēvi balstīts saistīšanas spēks un loka jonu zelta pārklājuma blīvs pārklājums. Nogulsnētais daļiņu stars ar augstu jonizācijas ātrumu nesatur lielus daļiņu piemaisījumus, piemēram, "metāla pilienus". Tam ir būtiskas tehniskas priekšrocības, kontrolējot pārklājuma mikrostruktūru, iegūstot izcilu plēves bāzes savienojuma spēku, samazinot pārklājuma iekšējo spriegumu un uzlabojot pārklājuma blīvumu un viendabīgumu. Cieto pārklājumu sagatavošana ar lieljaudas impulsu magnetronu izsmidzināšanu ir kļuvusi par vienu no pašreizējiem pētniecības karstajiem punktiem, un šī tehnoloģija ir panākusi arī iepriecinošu progresu (Cr, Ti, Al) N pārklājumu uzklāšanā, kas ir fizikāla tvaiku pārklāšanas tehnoloģija. ar plašām perspektīvām.

Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas iekārta, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com