Faktori, kas ietekmē magnetrona uzsmidrināšanas pārklājuma rezultātus
Feb 19, 2021| Faktori, kas ietekmē magnetrona uzsmidrināšanas pārklājuma rezultātus
1, smidināšanas jaudas ietekme, substrāta un pārklājuma materiālu gadījumā, procesa parametru izvēlei ir liela ietekme uz pārklājuma augšanas ātrumu un kvalitāti. Starp tiem, sputtering jaudas iestatīšanai ir liela ietekme uz abiem aspektiem.
2. Gaisa spiediena ietekme: magnetrona uzspļaušana tiek veikta lielā ātrumā zemā spiedienā, tāpēc ir nepieciešams uzlabot gāzes jonizācijas ātrumu un padarīt gāzes formu plazmu. Ar nosacījumu, ka tiek fiksēta smidināšanas jauda, tiek analizēta gaisa spiediena ietekme uz magnetrona uzspļaušanu.
IKS PVD uzņēmums, dekoratīvo pārklājumu mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, optiskā pārklājumu mašīna, PVD vakuuma pārklājuma līnija. Sazinieties ar mums tagad, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com