Elementārā mērķa un sakausējuma mērķa nogulsnēšanās raksturojums
Sep 02, 2024| Elementārā mērķa un sakausējuma mērķa nogulsnēšanās raksturojums
(Cr,Ti,Al) N ceturtdaļas pārklājumus var pagatavot, vienlaikus izputinot vairākus elementārus mērķus vai tieši izsmidzinot daudzkomponentu sakausējuma mērķus. Vairāku elementāru mērķu (Cr, Ti, Al) N pārklājumu priekšrocība, izmantojot kopuzputināšanu, ir tāda, ka katrs mērķis ir neatkarīgs viens no otra, un Cr, Ti un Al metāla elementu saturu pārklājumos var neatkarīgi kontrolēt ar mērķa strāva vai mērķa jauda [21], tādējādi iegūstot dažādu sastāva proporciju (Cr,Ti,Al) N pārklājumus [53]. Tam ir acīmredzamas priekšrocības daudzslāņu plēves un jauktas plēves sagatavošanā. Šīs metodes trūkumi ir tādi, ka ir daudz regulējamu parametru, vairāku mērķu pārstrāde noved pie nevienmērīga pārklājuma sastāva, un elementu stehiometrisko attiecību (Cr,Ti,Al) N pārklājumā nevar precīzi kontrolēt [54]. Izmantojot sakausējuma mērķa nogulsnēšanos (Cr,Ti,Al) N kvartāra pārklājumu, parametru kontrole ir salīdzinoši vienkārša, un pārklājuma sastāva attiecība parasti ir tuvu izmantotā sakausējuma mērķa attiecībai [55], tāpēc to ir vieglāk iegūt. (Cr,Ti,Al)N kvartārais pārklājums ar vienmērīgu sastāvu. Tomēr, ņemot vērā katra elementa, kas veido sakausējuma mērķi, atšķirīgo izsmidzināšanas iznākumu izsmidzināšanas procesā, pastāv problēma izvēlēties dažādu elementu izsmidzināšanu, tāpēc pārklājuma sastāva attiecība joprojām atšķiras no sakausējuma mērķa [56]. . Pašlaik, pētot (Cr,Ti,Al)N kvartāro pārklājumu sagatavošanu ar magnetronu izsmidzināšanu, biežāk sastopamie sakausējuma mērķi ir AlTi mērķis un AlCr mērķis.
Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas iekārta, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com