Līdzstrāvas novirzes un impulsa novirzes salīdzinājums
Aug 14, 2024| Līdzstrāvas novirzes un impulsa nobīdes salīdzinājums
Tradicionālā loka jonu pārklāšana ir DC negatīva nobīde uz substrāta, lai kontrolētu jonu bombardēšanas enerģiju. Šim uzklāšanas procesam ir šādi trūkumi: 1. Pamatnes augstā temperatūra neveicina cietas plēves nogulsnēšanos uz pamatnes ar zemu rūdīšanas temperatūru. 2. 3. Augstas enerģijas jonu bombardēšana izraisa nopietnu izsmidzināšanu, un cietās plēves ar augstu reakcijas sliekšņa enerģiju nevar sintezēt, vienkārši palielinot jonu bombardēšanas enerģiju. 4. Līdzstrāvas novirzes loka jonu pārklāšanas procesā, lai ierobežotu substrāta pārmērīgo temperatūru, ko izraisa nepārtraukta pozitīvo jonu bombardēšana uz substrāta virsmas, galvenokārt tiek pieņemti tādi pasākumi kā nogulsnēšanas jaudas samazināšana, nogulsnēšanas laika saīsināšana un periodiskas nogulsnēšanas metožu izmantošana. lai samazinātu nogulsnēšanās temperatūru. Šos pasākumus var apkopot kā enerģijas kontroles metodes. Lai gan šī metode var samazināt nogulsnēšanas temperatūru, tā arī samazina dažas plēves īpašības, kā arī samazina ražošanas efektivitāti un plēves kvalitātes stabilitāti, tāpēc ir grūti veicināt pielietojumu. Impulsa nobīdes loka jonu pārklāšanas procesā, jo jonus bombardē substrāta virsma nepārtrauktā impulsa režīmā, temperatūras gradientu starp substrātu un virsmu var mainīt, pielāgojot impulsa nobīdes darba ciklu un pēc tam siltuma izlīdzināšanas kompensācijas efektu starp pamatni un virsmu var mainīt, lai sasniegtu nogulsnēšanās temperatūras regulēšanas mērķi. Tādā veidā novirzītā impulsa augstumu var neatkarīgi nošķirt no sagataves temperatūras (neiedarbojas viens otru vai tiem ir neliela ietekme), un augstsprieguma impulsu var izmantot, lai iegūtu augstas enerģijas jonu bombardēšanas efektu, lai uzlabotu plēves organizācija un veiktspēja, kā arī jonu bombardēšanas kopējo sildīšanas efektu var samazināt, samazinot darba ciklu, lai samazinātu nogulsnēšanās temperatūru.
Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas iekārta, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com