Slēgtā lauka nelīdzsvara magnētu izsmidzināšanas tehnika
Aug 29, 2024| Slēgta lauka nelīdzsvara magnetronu izsmidzināšanas tehnika
Nelīdzsvara magnetrona izsmidzināšanas tehnoloģija ir balstīta uz parasto izsmidzināšanas mērķi, kas maina magnētiskā lauka sadalījumu uz izsmidzināšanas mērķa virsmas, mainot magnēta konfigurāciju. Starp tiem visizplatītākā forma ir tāda, ka perifērā magnētiskā lauka stiprums ir lielāks par centrālā magnētiskā lauka intensitāti, magnētiskā lauka līnija neveido slēgtu cilpu starp perifēro un centru, un dažas perifērās magnētiskā lauka līnijas var izstiepties. no mērķa virsmas līdz matricai. Šādā magnētiskā lauka sadalījumā plazma vairs nav ierobežota ar mērķa virsmu, bet to var paplašināt līdz substrāta virsmai, kas palielina jonu staru blīvumu uz substrāta virsmas. Izmantojot jonu staru ar lielāku blīvumu, bet mazāku enerģiju, lai veicinātu nogulsnēšanos, var ne tikai uzlabot pārklājuma kvalitāti, bet arī izvairīties no liela iekšējā sprieguma. Vairāku mērķu nelīdzsvara magnetronu izsmidzināšanas tehnoloģijai ar pretējiem blakus esošiem magnētiskajiem poliem magnētiskā lauka līnijas blakus esošo divu mērķu malās var veidot "slēgtu slazdu" elektronu izkļūšanai, kas efektīvi saista elektronus, lai izvairītos no elektronu zuduma. adsorbēts uz vakuuma kameras sienām magnētiskā lauka pavājināšanās dēļ, tādējādi ievērojami uzlabojot mērķa izsmidzināšanas efektivitāte. Šajā slēgtā lauka nelīdzsvara magnetronu izsmidzināšanas tehnikā plazmas reģions ir efektīvi ierobežots vakuuma kameras vidusdaļā, tāpēc matrica var iegūt ideālu jonu bombardēšanu. Četru mērķu slēgtā lauka nelīdzsvara magnetronu izsmidzināšanas sistēma ir ļoti efektīva viendabīgu, blīvu un sarežģītu plēvju uzklāšanai uz sarežģītiem substrātiem, un tā var radīt augsta blīvuma, augstas stiprības un augsta saistīšanas spēka pārklājumus, kas ir plaši izmantoti (Cr,Ti,Al) N pārklājumi.
Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas iekārta, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com