Turbo-molekulārā sūkņa vakuuma sistēma mehāniskā sūkņa sērijā

Turbo-molekulārā sūkņa vakuuma sistēma mehāniskā sūkņa sērijā

Attēlā 5-14 parādīta sistēma. Šī sistēma var iegūt 10-6Pa vakuumu bez cepšanas, un vakuuma pakāpe pēc cepšanas var sasniegt 10-8Pa. Sistēmas raksturlielumi ir salīdzinoši tīri un var veidot bezeļļas īpaši augsta vakuuma sistēmu.

Attēls 5-14 Turbomolekulārā sūkņa īpaši augsta vakuuma sistēma: 1- vakuuma kamera 2- termopāra vakuuma mērītājs 3-BA vakuuma mērītājs 4- īpaši augsta vakuuma vārsts {{8 }} Turbomolekulārais sūknis 6- priekšējais sūknis 7- Solenoīda vārsts 8- mehāniskais sūknis

Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas mašīna, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com