Pārklājuma plēves spriedze

Pārklājuma plēves spriedze

I. Filmas stresa un stresa cēloņu klasifikācija

Iekšējo stresu var iedalīt iekšējā stresa un papildus iekšējā spriedze. Pirmais ir Filmas veidošanas procesā, strukturālie defekti un siltuma efekti, kas veidojas filmā, kad kristālu kodi apvienojas viens ar otru ir inducēti

. Kad gāzes fāzes atomus injicē substrātā, plēves veidošanas procesā tiek atbrīvots liels daudzums siltuma . Šī siltuma daudzums ir līdzvērtīgs substrāta slāpēšanai, radot stresu un tajā pašā laikā

Tā kā tvaiks veido pamatni substrāta nogulsnēšanās sākuma stadijā, graudu virsmas sprauga padara blakusesošos graudus saplūst un veido lielāku Graudu, šī koalescenība samazinās virsmas enerģiju, samazinās virsmas laukums, graudu saraušanās un substrāts novērsīs tas no coalescing un saraušanās, tādējādi izraisot filmu rada kondensācijas iekšējo stresu. Pēdējais ir saistīts ar filmu veidošanos pēc pārslodzes

Pārklājuma kamerā tiek pakļauta atmosfērā vai atmosfērā plēve, ko iegūst, oksidējot. Iepriekš minētās trīs atbildes Vai spēka ACTS stiepes sprieguma formā vai saspiešanas sprieguma veidā parādās membrānas pamatnes saskarnē

Bīdes stresa radīšana. Kad slīpuma spriegums ir pietiekami liels, lai pārvarētu saķeri starp membrānas pamatnes saskarnēm, membrāna būs plaisa.

Izkliedēšana vai izdalīšana, lai pareizi saskaņotu filmu un substrātu, samazinātu filmas termisko spriegumu, filmas pareizā sastāvā. Uzklāšanas procesā spēka atslēga samazina iekšējo spriegumu vai ļauj abiem stresiem kompensēt katra cits ir arī uzlabot filmas saķeri.

2. zemas sprieguma plēves iegūšanas metode

Lai iegūtu filmas ar zemu stresu, membrānas sagatavošanā var veikt šādus pasākumus :

(1) Izvēlieties pareizo pamatnes temperatūru, lai samazinātu termisko stresu

Materiāla nogulsnēšanās no termiskā stresa samazināšanas jāizvēlas, kad temperatūra ir zemāka, bet arī jāizvēlas no iekšējā sprieguma samazināšanās, jo zema kušanas temperatūra. Metāla plēves struktūra ir maigs iekšējais spriegums, šajā brīdī galvenā nozīme ir termiskajam spriegumam, piemēram, Supravadošo plēvju, piemēram, indija skārda svina, substrāta šķidrā hēlija temperatūras termiskā sprieguma sagatavošana var būt nulle, tādēļ zemā kušanas temperatūras metālam būtu jāizvēlas zemāka substrāta temperatūra uz cita veida metāla, substrāta temperatūrai būtu jāizvēlas daži garāki, tādēļ lai sasniegtu mērķi samazināt iekšējo stresu

Turklāt saprātīga membrānas un substrāta izvēle tā, ka divu materiālu termiskās izplešanās koeficients ir tuvu filmam, ir arī veids, kā samazināt termisko stresu

(2) Pareiza atlikušā gāzes spiediena izvēle

Filtra nogulsnēšanās, atlikušais gāzes spiediens ir pārāk augsts, palielinās sadursmes varbūtība starp tvaika un atlikušās gāzes molekulām, kas ne tikai ietekmē nogulsnes ātrumu, bet arī izraisa sadursmes izkliedes fenomenu, ko rada membrānas struktūras izlases kārtojums, un padara porainu membrānas slāni , viegli oksidē membrānu, pat membrānas slānī, lai radītu burbuļus, tāpēc pārklājums iekšējā atlikušā gāzes spiedienā ir nelabvēlīgs un pārmērīgs, izvēlēties 10 ^-3 -10 ^-4 Pa ir piemērots

(3) Uzkrāšanās ātruma izvēle

Uzklāšanas ātrums ir atkarīgs no iztvaikošanas avota elementa temperatūras, formas, lieluma, attāluma un iztvaikošanas spējas . Nosūkšanas ātruma izvēlei vajadzētu ņemt vērā ne tikai filmas veiktspējas prasības un stresu, bet arī procesu

Prasības. Vadošajām metāla plēvēm uzbēršanas ātrumu var izvēlēties lielākai, piemēram, plēvei, pēc iespējas mazam grauda izmēram, mezglam Kompakta struktūra, vāja oksidēšanās, gaiša un gluda virsma, laba elektriskā vadītspēja. Uz pretestības plēves, lai palielinātu filmas izskatu. Pareiza membrānas oksidēšana ir nepieciešama produkta stabilitātei. Tādēļ nogulsnēšanas ātrumu var palēnināt. Daži. Tā kā lielākā daļa dielektrisko membrānu ir oksīds vai citas savienojuma membrānas, tad tās oksidējas. Vai ar sildītāju rada ķīmisku reakciju, abas ir saistītas ar iztvaikošanas avota temperatūru, un dielektriskās plēves siltuma vadītspēja ir niecīga, ciešot, ja iztvaikošanas siltums ir nevienmērīgs, attiecīgi jālieto lēnāks nogulsnes ātrums.

(4) plēves biezuma izvēle un tvaika slodzes leņķis

Attiecības starp plēves biezumu un vidējo atlikušo stresu parādās 1.-2.7. Attēlā. Plēves biezums pārsniedz 100 nm, ja spriegums nemainās. Tomēr bīdes spēks sakarā ar stresu pie membrānas bāzes interfeisu

Tas ir tieši proporcionāls plēves biezumam, tādēļ bīdes spēks var būt lielāks par saķeri, ja plēves biezums ir pārāk liels, kā rezultātā tiek zaudēta plēve .

Fig. 1-2-2. Vidējais atlikušais spriegums sudraba filmu iztvaicē un izplūstot

Ir arī ļoti svarīgi izvēlēties tvaika leņķi, aprīkojumu ar mazu iztvaikošanas attālumu, biežuma leņķi

Lai samazinātu biežuma leņķi, ir labāk noglabāt mazāk substrātu

Ir nepieciešams. Saslimstības leņķis parasti nedrīkst pārsniegt 15 ° . Protams, var arī nodot pamatnes rāmja pamatojumu . Lai atrisinātu šo problēmu.

( 5) Pareiza kontrole un papildu iekšējo spriegumu novēršana

Papildu iekšējais spriegums pārsvarā ir saspiešanas spiediens, kas var būt piemērots atkarībā no noslīdēšanas laikā radītās plēves īpašībām

Kontrolei un regulēšanai, piemēram, plēvei ir lielāks stiepes spriegums, var radīt papildu stresu, lai panāktu lielāku daudzveidību . Savstarpēja stresa kompensēšana.

Turklāt pēc filmas nogulsnēšanas vakuuma telpā var veikt atbilstošu siltumizolāciju, lai stabilizētu filmas iekšējo struktūru un veidotu ļoti plānu attīrītu plēvi uz virsmas. Ir arī svarīgi, lai tikko nogulsnētā plēve tiktu pakļauta atmosfērā pēc iespējas mazāk vai tiktu, jo īpaši, ja substrāta temperatūra ir daudz augstāka nekā istabas temperatūra