PECVD galvenais sedimentācijas process
Oct 18, 2024| PECVD galvenais sedimentācijas process
Salīdzinot ar tradicionālajām AP-CVD un LP-CVD iekārtām, PE-CVD iekārtas ir kļuvušas par visplašāk izmantoto iekārtu veidu mikroshēmu ražošanas plānās kārtiņas uzklāšanas procesā. CVD tehnoloģijai ir galvenā loma daudzās jomās, pateicoties tās elastībai un efektivitātei dažādu materiālu un plēvju sagatavošanā. Plānās kārtiņas pārklājums: CVD izmanto dažādu plānu kārtiņu, piemēram, amorfā silīcija, polisilīcija, silīcija nitrīda (Si3N4), silīcija dioksīda (SiO2) u.c. uzklāšanai. Gaismas diodes un lāzeri: CVD izmanto III-V pusvadītāju materiālu ražošanai gaismas diodēs. un lāzeri, piemēram, gallija nitrīds (GaN) un gallija arsenīds (GaAs). Fotoelementi: saules bateriju ražošanā CVD izmanto plānu kārtiņu, piemēram, silīcija plānās kārtiņas un cinka oksīda (ZnO) u.c. uzklāšanai, lai uzlabotu fotoelektriskās pārveidošanas efektivitāti. Nodilumizturīgi pārklājumi: CVD tiek izmantots īpaši cietu pārklājumu, piemēram, dimanta un kubiskā bora nitrīda (c-BN), uzklāšanai, lai uzlabotu instrumentu, veidņu un mehānisko daļu nodilumizturību un kalpošanas laiku. Korozijizturīgi pārklājumi: izmantojot CVD, var uzklāt pret koroziju izturīgus pārklājumus, piemēram, titāna nitrīdu (TiN) un titāna karbīdu (TiC), lai aizsargātu metāla virsmas no korozijas. Pretatstarojošs pārklājums: CVD tiek izmantots, lai sagatavotu pretatstarošanas pārklājumu, lai samazinātu atstarošanu uz optisko komponentu virsmas un uzlabotu optisko veiktspēju. Filtri un viļņvadi: optiskajos sakaros CVD izmanto tādu ierīču ražošanai kā filtri un viļņvadi, lai uzlabotu signāla pārraides efektivitāti. Bioloģiski saderīgi pārklājumi: CVD tehnoloģija tiek izmantota bioloģiski saderīgu pārklājumu, piemēram, titāna nitrīda un cirkonija (ZrO2) uzklāšanai uz medicīnas ierīču un implantu virsmas, lai uzlabotu bioloģisko saderību un izturību. Mikroelektromehāniskās sistēmas (MEMS): CVD izmanto strukturālo materiālu un funkcionālo plēvju ražošanai MEMS ierīcēs, piemēram, polisilīcija un silīcija nitrīda.
Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas iekārta, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com