Nevienmērīga filmu ar vakuuma magnetronus sprauslāt pārklāšanas mašīnas cēlonis

Nevienmērīga filmu ar vakuuma magnetronus sprauslāt pārklāšanas mašīnas cēlonis

Kādi ir faktori, kas noved pie nevienmērīga magnetronus sprauslāt vakuuma pārklāšanas mašīnas? Draugs, ka galvenais ir iesaistījusies darbs šajā sakarā faktiski joprojām salīdzinošo izpratni, tas būtībā var iedalīt daži faktori ir šādi: vakuuma stāvoklis, magnētiskais lauks, argons.

Magnetronus sprauslāt vakuuma pārklāšanas iekārtu ekspluatācija ir argona jonu veido elektronu bombardēšanas argons tiek bombardēti ar ortogonālas magnētiskā lauka zem vakuuma stāvoklis un mērķa joni tiek deponēti apstrādājamo detaļu virsmas formu filmas.

Vakuuma stāvoklis sūknēšanas sistēmas ir vajadzīga kontrole. Katrā sūkņu ostā būtu jāsāk vienlaicīgi un ar viena un tā paša stipruma, tāpēc, ka sūkņu vienveidību var arī kontrolēt. Ja sūknēšanas nav vienmērīgs, spiediens vakuuma kamerā nevar būt vienotiem un spiediens ir jonu kustību ietekmē. Turklāt, sūknēšanas laiks būtu jākontrolē, pārāk īss izraisīs trūkums vakuumā, bet pārāk garš un resursu izšķiešana, bet tur ir Vakuuma mēraparātu, tā nav problēma, lai kontrolētu.

Ortogonālas lauku darbi, bet nedrīkst būs simtprocentīgi viendabīgu magnētiskā lauka intensitāte ir neiespējami, parasti spēcīgs magnētiskais lauks, plēves biezums ir liels, pretī ir maza, tā būs izraisīt plēves biezums nav konsekventa, bet šajā procesā ražošanas, sakarā ar magnētisko lauku rada nevienmērīgu nevienmērīga filmu nav bieži, kāpēc?

Sākotnējā magnētiskā lauka stiprums nav labs, bet tajā pašā laikā apstrādājamo detaļu darbojas tajā pašā laikā, un mērķa atom nogulumiežu beigas gadījumā daudzkārt pārklāšanas process, ilgu laiku gan biezs un plāns daļas daļas , bet citreiz zem spēcīga magnētiskā lauka sākotnējo nogulumiežu biezumu uz šauro daļu biezums plānās daļas darbība, tik daudzas reizes, pēc pēdējā filma, filmas vienveidība ir laba.

Argona vienveidība ietekmēs arī film, principu, kas ir gandrīz tāds pats kā vakuuma pakāpes viendabīgumu. Argona ieraksts, jo spiediens vakuuma kamerā mainīsies un vienādību spiedienu var kontrolēt uz plēves biezums magnetronus sprauslāt vakuuma pārklāšanas mašīnas vienādību.