Pētījumu par dimantu līdzīgā oglekļa (DLC) plēvju pielaidi ar impulsu jonu pārklāšanas tehnoloģijām - Eksperimenta princips un metode

Dimantveidīgas oglekļa plēves (DLC plēves), kā jaunās optiskās plānās plēves materiālu paaudzes, ir lieliskas optiskās, mehāniskās, elektriskās, siltuma un akustiskās īpašības. Pateicoties pārredzama infrasarkanā reģiona priekšrocībām, augsta cietība, augsta siltuma vadītspēja, izturība pret nodilumu, stabilas ķīmiskās īpašības, izturība pret siltuma triecienu un tā tālāk. Tam ir labas pielietošanas iespējas.

DLC plēvi deponē ar impulsu loka ionu pārklāšanu, kas ir fizikālā tvaika nosūkšanas metode. Apmetēšanas metode ir vienkārša. Substrāta nevajadzētu pievienot negatīvu novirzi un pārklājuma procesā aizpildīt jebkuru gāzi vakuuma kamerā. Apmetēšanas procesam ir laba atkārtojamība, un tā ir piemērota lielai partijas rūpnieciskajai ražošanai. Ar šo metodi pārklāta DLC plēves kārtā ir augsta tīrība, laba optiskā caurlaidība; stabilas ķīmiskās īpašības un laba nodilumizturība. To var izmantot kā lielisku infrasarkano staru filmu un aizsargplēvi.

Dimantveidīgās oglekļa plēves tika pārklātas ar vakuuma pārklājumu, ko ieveda no ārvalstīm. Ierīce satur trīs jonu avotus: gāzes jonu avotu, ko izmanto substrāta virsmas tīrīšanai un sildīšanai; nepārtraukta katoda daudzkoka jonu avots ar magnētisko filtrēšanu, ar metāla Ti katodu pārejas slāņa pārklāšanai; Trešais jonu avots ir impulsu loka jonu avots ar grafīta katodu un loka polu. To lieto dimanta, piemēram, oglekļa plēves pārklāšanai.

Eksperimenta princips un metode

Impulsu loka jonu avots sastāv no katoda, anoda un loka elektroda. Katods ir izgatavots no iztvaicētā materiāla, un jonu avotam ir speciāli izgatavots anods. Vakuuma loka izlāde, ko rada jonu avota katoda, izraisa katoda materiāla iztvaikošanu un jonizēšanos, veidojot plazmu, no vienas puses, veido pārklājumu uz pamatnes, no otras puses, saglabā loka izlādi. Aukstdedzes loka izlādes elektronu emisiju mehānisms galvenokārt ir lauka elektronu emisija, un lauka emisijai ir nepieciešams izveidot spēcīgu elektrisko lauku uz katoda virsmas. Tādēļ tikai katras un jonu avota anoda potenciāla atšķirība nav pietiekama, tādēļ ir nepieciešams ielīmēt loka. Ierīce izmanto loka elektrodu, kas rada nelielu strāvas izlādi un pre ionizāciju starp loka elektrodi, un pēc tam tiek izmantots ne ļoti augsts spriegums starp diviem galvenajiem katoda un anoda galvenajiem elektrodiem (parasti starp 40 V un 400 V). Gāze un iztvaikošana sadalās, veidojot loka.

Darba procesa laikā vakuuma kamera tiek evakuēta līdz 2x10 ^-3 Pa, un kondensatori C ₁ un C ₂ tiek uzlādēti, nodrošinot SCR arkveida signālu. Starp siltumizolējošajiem elektrodiem tiek izveidota neliela strāvas izlāde. Starp anodu un katodu ir vadītspējīgs slānis. Kondensators C ₁ izplūst starp katodu un anodu. Ja kondensatora C ₁ enerģijas patēriņš tiek izlaists, ja kondensatora piegādātā enerģija nav pietiekama, lai saglabātu izlādi, izlāde tiks pārtraukta.