Daži pasākumi, lai uzlabotu plēves un substrāta saskares stiprību

Daži pasākumi, lai uzlabotu plēves un substrāta saskares stiprību

IKS PVD rūpējas par savu PVD pārklājumu biznesu, sazinieties ar mums tagad, lai iegūtu sīkāku informāciju, iks.pvd @ foxmail.com

Lai iegūtu pārklājumu ar augstu adhēzijas izturību, papildus divu iekšējo faktoru, kas rada adsorbcijas apstākļus un novērš plēves veidošanās procesa izraisīto stresu, apsvērumus, jāņem vērā daudzi ārējie faktori, kas ietekmē saķeri filmas spēks

1. Šim pamatam jābūt stingri prasītai

Substrāta šķirošana ir vairāk "materiāls tiek plaši izmantots, tā forma būs atšķirīga atkarībā no lietošanas, piemēram, dekoratīvās plating plēves korozijizturīgu plēves substrāts ir pārklāts daļām pats, un puse guide Hugh un integrālās shēmas, kopija gabals parasti pieņem plānas loksne ar membrānu, kas piestiprināta ķēdes daļai, kā arī ir nepieciešamas noteiktas prasības substrāta darbībai, piemēram, prasībām ir zemāks virsmas raupjums un gludums (tas ir, virsma nav pareizā pakāpe), it īpaši plānām filmas shēma ar substrātu, virsma ir gluda, sasniegtu visaugstāko līdz zemākajam vienības platuma attālumam, ir mazāks par 25-1500 nm; materiāla struktūrai jābūt ar augstu blīvumu. Otrkārt, pamatnei jābūt ar augstu ķīmisko stabilitāti , nereaģē ar plēves materiālu, ne tikai ierobežo ķīmisko reaģentu lietošanu plēves kontūras procesā, bet arī prasa, lai substrātam būtu noteikta siltuma stabilitāte d siltuma triecienizturība, lai izturētu cepšanas un sildīšanas procesu; augsta siltuma vadītspēja, lai novērstu ķēžu sastāvdaļu pārkaršanu, un tam jābūt zināmam mehāniskam stiprumam, lai novērstu sabojāšanos; un siltuma izplešanās koeficientam jābūt vienādam ar filmu, lai novērstu plēves izbalēšanu zem stresa, ja masas ražošanas substrāta izmaksas būtu zemas.

2. Pamatne ir rūpīgi jāpārklāj ar apšuvumu

Pirms virsmas jāpārklāj pārklājuma kamerā neatkarīgi no tā, kādā veidā ir nepieciešama tā virsmas pārklājuma apstrāde, pirms procesa apstrādes (tīrīšanas) pārklājuma apstrādes, lai apstrādes priekšmetu sasniegtu, eļļas attīrīšana un dehidratācija, jo pastāv uz eļļas virsmas, netiks tikai iznīcina vakuuma vakuuma kameru, un eļļa zem siltuma stāvokļa sadalīšanās var arī radīt membrānas slāņa augšanu, pievienojot piemaisījumus, netīrumus taukaini, ieskaitot putekļus, svīšanu un sagataves virsmu utt. Atkritumam nepieciešams noņemt oksidācijas slāni, sabiezējums un vaļīgi audumi uz substrāta virsmas.Tad pēc elektronu pārklāšanas procesa, jonu bumbardēšana tā, lai substrāta virsmai pirms pārklājuma parādās molekulas

Novērtē atomu kategorijas tīrību, kas ir svarīgs pasākums, lai uzlabotu pārklājuma izturību.

Substrāta virsmas piesārņojuma avoti galvenokārt ir šādi:

1) Visu veidu putekļi, kas tiek piestiprināti detaļu apstrādes, pārvades, iepakošanas un izvietošanas laikā .

2)   smēreļļu pulēšanas pasta un smērvielu sviedru traipi, kas tiek piestiprināti pie daļām apstrādes, uzglabāšanas un transportēšanas laikā

3) oksidēšanās plēve, kas veidojas uz mitru gaisa daļu virsmas;

4) Gāze, kas absorbēta un adsorbēta uz detaļu virsmas.

Virs šo putekļu pamatā var izmantot eļļainu vai ķīmisku tīru metodi, lai atbrīvotos no tā, būtu jāņem vērā, ka tas ir tīrā izstrādājumā, kamēr tam jābūt arī pretēji instrumentu traukam, kas vienlaikus lieto vienlaikus tīru un noturīgu tīrību, kā arī nevar sasniegt mērķi, ka tīrs citādi .

3. Substrāts tiek uzsildīts filmu veidošanas laikā

Pamatnes temperatūra, graudu izmērs, graudu augšanas process paātrinās, samazinās membrānas koagulācijas defektus, palielinās pārkristalizācija, tādējādi pilnveidojot membrānas veidošanos, tādējādi samazinot iekšējo stresu, un substrāta temperatūra ir pārāk augsta, un siltuma stresi membrānas palielināšanās, lai samazinātu kopējo membrānas spriegumu, substrāta apsildīšanas temperatūra optimālā, kad parasti nav lielāka par 400 ℃ .

4. Pārbaudiet iztvaicēšanas avota temperatūru un tvaika spiedienu

Iztvaicēšanas avota silda līdz iztvaikošanas temperatūrai (tvaika spiediens un temperatūra), daži no metāla atomiem izkļūst no cietās fāzes, ar zināmu ātrumu izlido augstāku iztvaikošanas avota temperatūru ne tikai no metāla atomu skaita, aizbēgšanās un metālu atomu kinētiskā enerģija ir liela, tādēļ ar enerģijas siltuma barjeru bāzes loksnē veidojas spēcīga ķīmiskā adsorbcija, bet iztvaikošanas avota temperatūra ir pārmērīga, tvaika spiediens var strauji paaugstināties, sadedzināšanas ātrums paātrinās un ietekmē membrānas veiktspējai un tam raksturīgam stresam jābūt saskaņā ar membrānas atšķirīgo raksturu, kontrolē atbilstošo iztvaikošanas temperatūru un tvaika spiedienu.

5. Pamatplēve starp pamatni un plēvi

Pamatnes plēves iepriekšēja pārklāšana uz pamatnes ir viens no tehnoloģiskajiem pasākumiem, lai palielinātu membrānas pamatnes saskarnes adhēzijas stiprību. Piemēram, ja sudraba pārklājumu alumīnija elektrisko savienotāju izgatavošanai izmanto vakuuma jonu pārklāšanas tehnoloģijas, sudraba šķīdība alumīnijā ir tikai 1%, ja tā ir tieši uz alumīnija sudraba, tās adhēzijas stiprība ir zema. Šķīdība ir alumīnija un varš) ir 5,6%, alumīnija šķīdība varā ir 9,4%, sudraba šķīdība varā ir 8%, tādēļ pirmais vara pārklājums uz alumīnija kā pamatnes plēvi, pēc tam var ievērojami uzlabot sudrabu, kas pārklāts ar sudraba pārklājumu uz virsmas alumīnija pamatmetāla saķere ar izturību un tāpat kā zeltīts vara pallādijs no stikla vai keramikas. Saķere ir slikta, tad vispirms un pēc tam pamatnes plēve. Zeltīts vara pallādijs atkal var uzlabot saķeres izturību. Pašlaik izmantoto membrānas materiālu apakšā daudzfunkcionāls hroms, molibdēna niķeļa titāns, tantals uc metāls.

6. Termiskā apstrāde tiek veikta uz pamatnes pēc plēves veidošanās

Pēc plēves uzklāšanas var veikt nepieciešamo atkausēšanas apstrādi, temperatūra var būt nedaudz augstāka par nogulsnēšanas temperatūru, vai plēves daļas pēc plēves veidošanas var ievietot 400 ℃ augstas temperatūras cepšanai 8 stundas augstas temperatūras plēves fiksēšanai. Mehānisms ir pastiprināt membrānas bāzes molekulu siltuma kustību, savstarpējo difūziju saskarnē un veidot sakausējuma slāni ar augstu izturību.

7. Pārklājuma procesā ir notīrīta putekļu, mitruma un eļļas izturība

Notīrīt iekštelpu putekļus, iestatīt darbnīcu ar augstu tīrību, saglabāt tīru iekštelpu augstumu, ir super izmērs, kas nepieciešams plēves plēvei. Gaisa mitruma lielāka platība, izņemot substrātu pirms vakuuma iekštelpu sienas un katras detaļas vakuuma kameras tīrīšanā, nopietni grib cep eļļu, lai izvairītos no eļļas vakuuma kamerā, pievērsiet uzmanību eļļas atdeves eļļas difūzijas sūknim, difūzijas sūknim siltumenerģijai, jāveic augsti pasākumi Viens metrs pārklājuma mašīna ražošanas eksperimentiem ar pieciem alumīnija plāksnes slānis kā mehāniska barjera "ir pārliecināties, ka eļļas difūzijas sūknis tvaiks nevar atgriezties vakuuma kamerā, kas samazina ekstrakcijas ātrumu, bet uzlabo saķeri starp membrānas pamatnēm.