Vakuuma mērīšanas aprīkojuma izvēle dažādos vakuuma diapazonos

Rupjš vakuums

Vispārīgi vakuuma pielietojumi, atsperes tipa vakuuma mērītājs (mehāniskās elastīgās deformācijas mērītājs)

Tajā pašā laikā, veicot mērījumus no rupja vakuuma līdz zemam vakuumam, var izmantot membrānas tipa vakuuma mērītāju, kapacitīvas plēves tipa vakuuma mērītāju un radioaktīvās jonizācijas vakuuma mērītāju

101325-1000Pa

Kodīgas gāzes, kapacitīvas plēves mērītājs

Precīzi mērīšanas gadījumi, u veida vakuuma mērītājs

Zems vakuums

Tikai aptuvenai indikācijai ， Dzirksteles vakuuma indikators

1000–0,1Pa

Parasti termopāra vai pretestības vakuuma mērītājs

Precīzs mērījums, kompresijas tipa vakuuma mērītājs vai kapacitātes tipa plānslāņa vakuuma mērītājs

augsts vakuums

Jonizācijas vakuuma mērītāja galvenā izmantošana

10 ^-1 -10 ^-6 Pa

Kompresijas vakuuma mērītājs

Tajā pašā laikā ir jāmēra zems vakuums un augsts vakuums, kombinētais vakuuma mērītājs (jonizācijas vakuuma mērītāja un termopāra vakuuma mērītāja kombinācija) vai augsta spiediena jonizācijas vakuuma mērītājs

Aukstā katoda jonizācijas vakuuma mērītājs vakuuma iekārtām ar lielu izlādes jaudu un gadījumiem ar zemām prasībām

  īpaši augsts vakuums (UHV)

BA tipa jonizācijas vakuuma mērītājs

Sākot no zema vakuuma mērīšanas līdz īpaši augstam vakuumam, plaša diapazona īpaši augsta vakuuma mērītājam vai kombinētam īpaši augsta vakuuma mērītājam

10 ^-6 -10 ^-10 Pa

Aukstā katoda magnētiski kontrolēts jonizācijas vakuuma mērītājs

ļoti augsts vakuums (XHV)

·

Aukstā katoda magnētiski kontrolēts jonizācijas vakuuma mērītājs

U nder   10 ^-10 Pa

Karsta katoda magnētiski kontrolēts jonizācijas vakuuma mērītājs

Uzlabotais jonizācijas vakuuma mērītājs