Veiktspēju un priekšrocības, turbo molekulas sūkni

Turbo molekulas sūkni ir izmantot ātrgaitas rotācijas kustībā dzinējspēks nodot impulsu gāzes molekulu, gāzes ģenerēts plūsmas virzienu novakuuma sūknis. Turbo molekulas sūkni, galvenokārt komponenti pēc sūkņa korpuss, rotora asmeni (t.i., kustīgu dzinējspēks), statiskā dzinējspēks un piedziņas sistēma.

Priekšrocības

Kā turbo molekulas sūkni, dažos aspektos, tas ir labāk nekā kriogēnās sūknis, jonu sūkni un difūzijas sūkņu veiktspēja ir pārāka. Tāpēc vispārējā gadījumā izmanto turbo sūkņi.

(1) tīru, bez eļļas tvaiku atteces

Turbo molekulas sūkni var darboties bez jebkāda labi un darbojas saskaņā ar darbības noteikumiem, ko var nodrošināt tīras vakuuma vidē sūknē konteineram un nesatur visus ogļūdeņražus.

(2) ērta, lai izmantotu

Daudzās lietojumprogrammās turbo sūkņi var nepieprasīt augsta vakuuma ventiļiem vai aptuvenu vakuuma ventiļiem. Vienkārši nospiediet pogu, sūkni var sākt strādāt, no atmosfēras spiediena var samazināt līdz gala spiediens. Sistēma var būt rupja sūknē ar turbo molekulārie sūkņi un var paātrināta līdz darbības ātrumu. Tas novērš nepieciešamību vārsti, caurules, lamatas, vārstu vadīklas un citi vakuuma komponenti. Tas arī novērš šo komponentu atteice.

(3) spēcīga gāzes transportēšanas jaudas

Lielākā daļa turbo molekulārie sūkņi ir spēcīga spēja piegādāt vieglo gāzu, piemēram, ūdeņraža un hēlija, padarot tās ideāli piemērots process darbību ultra-augstā vakuumā. Turbo molekulas sūkni, kas speciāli paredzētas kodīgu gāzu izraidīšanas ir piemērota kodināšanu, reaktīvs jonu kodināšanu, jonu staru kūļa daudzfunkcionāli, zema spiediena ķīmisko tvaiku nogulsnēšanas, epitaxy un jonu implantācijas procesu. Laikā tos procesus, tukšus gāzes var sarūsēt kriogēnās sūkņi, jonu sūkņi, difūzijas sūkņu naftas un pat iznīcināt standarta neaizsargātu turbo molekulārie sūkņi. Turbo molekulas sūkni pieder pārvades sūknis, gāzi pārsūknē būs ne uzkrāt sūkni, tāpēc ir piemērots augstas gāzes ielādes procesu.

(4) piemērots Ultra augsta vakuuma lietojumprogrammas

Labi, turbo molekulas sūkni, plombēšanu un degazēšana ir aprīkots ar divpakāpju rotācijas sūkni ar labu sniegumu (vai pašu sniegumu sausu pre-sūknis). Ultimate vakuumu var sasniegt 10^-910^-10Dzīvsudraba staba milimetrs (133.3 lai 13,33 nPa). Ja turbo molekulas sūkni ir savienots ar citu turbo molekulas sūkni, izmantojot metāla aizzīmogo un labi atgāzētiem sūkni, tās gala spiediens parasti ir 1 × 10^-101 x 10^-11Dzīvsudraba staba milimetrs (13,33 lai 1,333 nPa) starp. Un atšķirībā no kriogēnās sūkņiem vai jonu sūkņi, turbo molekulārie sūkņi darbojas pilnā ātrumā, sūknēšanas vakuuma apstākļos ultra-augstas.

(5) labu sniegumu ar augstu spiedienu

Ieplūdes spiedienu, kas kādu turbo molekulārie sūkņi var palaist no 10^-1un 10^-3Dzīvsudraba staba milimetrs (13,33 Pa 133,3 mPa). Šī spiediena diapazons, jonu sūknis nevar izmantot, kriogēnās sūknis nepieciešamību droseli sūknēšanas ātruma vai regulāra atjaunošana un difūzijas sūkņu darba, kļūs nestabils.

(6) īsā cikla laiks

Lielākā daļa molekulāro turbo sūkņi, jo īpaši mazākiem vienu parasti nepieciešams 1 ~ 3 min sasniegt normālos braukšanas ātrumu. Sūkņus dažādu veidu un modeļu klāsts ir atšķirīgi un var beidzēt tūlīt un var būt pakļauti atmosfērā.

(7) normālas lietošanas uz ilgu laiku

Dažās lietojumprogrammās ir priekšnieks, kas ir citi sūkņi turbo molekulas sūkni normālas lietošanas laikā. Smagās gāzes ielādes un vārstu noplūdes, izraisīs kriogēnās sūknis bieži mainīgu intervālu reģenerāciju vai jonu sūkņa remonts bieži un turbo molekulas sūkni var izmantot arī, lai likvidētu sūknis naftas piesārņojumu vakuuma kamerā.