PECVD Darbības princips - Caurule P
Apr 19, 2024| PECVD Darbības princips - Caurule P
Cauruļveida PECVD sistēma ir ģeneratoru sērija, kas izmanto paralēlu plākšņu pārklājuma laivas un zemas frekvences plazmas ierosinātājus. Zemā un augstā temperatūrā plazmas ģenerators reaģē tieši vidē, kas uzstādīta pārklātās plāksnes vidū.
Priekšrocības: nogulsnēšanas procesā, ko papildina liela skaita ūdeņraža atomu un ūdeņraža jonu ražošana, silīcija vafeles ūdeņraža pasivācijas īpašības ir ļoti labas, un silāna un amonjaka attiecību var mainīt, lai iegūtu dažādus refrakcijas koeficientus.
Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas iekārta, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com