Galvenie parametri, kas ietekmē sputterēšanas plēvi

Galvenie parametri, kas ietekmē sputterēšanas plēvi

Uzklāšanas ātrums attiecas uz plēves biezumu, kas nogulsnēts uz substrāta vienības laikā, izmantojot materiālus, kas izsmidzina no mērķa, kas ir proporcionāls izsmidzināšanas ātrumam. Ir šādas attiecības:

qt = CIh

Qt - apzīmē nogulsnēšanas ātrumu;

C - konstantes, kas atspoguļo izsmidzināšanas ierīces īpašības;

I - ir jonu plūsma;

H - nozīmē izsmidzināšanas ātrumu.

No šī vienādojuma var secināt, ka tad, kad sputēšanas ierīce ir fiksēta (tas ir, C ir sputēšanas ierīces fiksētais parametrs, ko parasti nosaka galvenie parametri, piemēram, mērķa bāzes attālums projektēšanas sākumā) un darba gāze. ir izvēlēts labākais veids, kā uzlabot nogulsnēšanas ātrumu, ir palielināt jonu plūsmu.

Filmas veidošanās ātrums ar magnetronu izsmidzināšanu ir proporcionāls mērķa jaudai. Faktori, kas nosaka nogulsnēšanas ātrumu, ir: iegravētas platības jauda, iegravēta platība, mērķa bāzes attālums, mērķa materiāls, gāzes spiediens, gāzes sastāvs utt. Iepriekš uzskaitītie parametri ir aptuveni sakārtoti svarīguma secībā, bet daži no tiem tie ietekmē viens otru, piemēram, spiedienu, jaudas blīvumu, kodināšanas zonu utt. Turklāt mērķa termiskās un mehāniskās īpašības arī ierobežo maksimālo izsmidzināšanas ātrumu .

IKS PVD, vakuuma pārklājuma tehnoloģija, sazinieties ar mums tagad, iks.pvd@foxmail.com