Ieviest masas plūsmas kontrolieri
Jan 31, 2018| Masas plūsmas regulators (MFC) tiek izmantots gāzes masas plūsmas ātruma mērīšanai un kontrolei. To parasti veido plūsmas sensors, plūsmas regulēšanas vārsts, pastiprināšanas vadības ķēde un šuntēšanas vadības kanāls. Tās darba strāvas padeve un plūsmas indikācija un iestatīšana ar tā atbalsta plūsmas displeja barošanas avotu.
Izmantošana un funkcijas
MFC ir nozīmīga loma zinātniskos pētījumos un ražošanā daudzās jomās, piemēram, pusvadītāju mikroelektronikas nozarē, īpašu materiālu attīstībā, ķīmiskajā rūpniecībā, naftas rūpniecībā, medicīnā, vides aizsardzībā un vakuumā.
Tipiski pielietojumi ir šādi: elektroniskās procesa iekārtas, piemēram, difūzija, oksidēšana, epitaksija, CVD, plazmas kodēšana, izsmidzināšana, jonu implantēšana; un vakuuma pārklājumu iekārtas, gāzu hromatogrāfi un citi analītiskie instrumenti.
Masas plūsmas regulators un masas plūsmas mērītājs ar augstu precizitāti, labu atkārtojamību, ātru reakcijas ātrumu, mīkstu palaišanu, stabilu un drošu darba spiediena diapazonu (kas var strādāt augsta spiediena vai vakuuma apstākļos), operācija ir viegli lietojama. MFC var uzstādīt jebkurā pozīcijā, un tas ir savienots ar datoru, lai realizētu automātisko vadību.
Plūsmas mērītāju parasti iedala šādos veidos:
1. tilpuma plūsmas mērītājs
Tas izmanto mehānisko mērīšanas elementu, lai nepārtraukti sadalītu šķidrumu vienā zināmā tilpuma daļā. Šķidruma tilpuma plūsmu mēra saskaņā ar šķidruma piepildītā tilpuma daudzumu skaitu un iztukšo vienu pēc otras secīgi no mērīšanas kameras.
2. Plūsmas caurplūduma mērītājs (rotora plūsmas mērītājs)
Pludiņa caurplūdes mērītājs ir mainīgā laukuma plūsmas mērītāja veids vertikālā konusa virzienā no augšas uz leju, pludiņa gravitācijas apļveida šķērsgriezums tiek atbalstīts ar šķidruma jaudu, lai pludiņš varētu būt brīvs konusa augšdaļā un nokrist.
3. Diferenciālā spiediena caurlaidības mērītājs
Tas ir balstīts uz starpības spiedienu, ko rada plūsmas detektors, kas uzstādīts caurulē, zināmā šķidruma stāvokli un skaitītāju, lai aprēķinātu plūsmu starp cauruli un cauruli.
4. Vortex ielu plūsmas mērītājs (VSF)
Nepārsprieguma virpuļu ģenerators tiek novietots šķidrumā, un šķidrums tiek atdalīts pārmaiņus no abām ražošanas ķermeņa pusēm, lai atbrīvotu divas regulāri sazarotu virpuļu instrumentu sērijas.
5. Turbīnas caurplūdes mērītājs
Tas ir galvenais ātruma plūsmas mērītāja veids. Tas izmanto daudzu asu rotoru (turbīnu), lai izprastu šķidruma vidējo ātrumu, un izsaka instrumentu plūsmas apjomam vai kopējam daudzumam.
6. Ultraskaņas plūsmas mērītājs
Tas ir plūsmas mērījums, mērot šķidruma plūsmas ietekmi uz ultraskaņas staru (vai ultraskaņas impulsu).
7. Elektromagnētiskais plūsmas mērītājs
Elektromagnētiskais plūsmas mērītājs ir sava veida instruments šķidruma vadītspējas mērīšanai saskaņā ar Faraday elektromagnētiskās indukcijas likumu.
8. Siltuma masas plūsmas mērītājs
Siltuma plūsmas mērītāja sensors satur divus sensorus, ātruma sensoru un temperatūras sensoru. Tie var automātiski kompensēt un kalibrēt gāzes temperatūras maiņu. Instrumenta elektriskā apkures daļa silda ātruma sensoru līdz noteiktam lielumam, kas ir augstāks par darba stāvokļa temperatūru, tādā veidā izveidojot konstantu temperatūras starpību starp ātruma sensoru un sensoru darba temperatūras apstākļos. Ja temperatūras starpība tiek uzturēta nemainīga, elektriskā apkure patērētā enerģija ir proporcionāla gāzes plūsmas masas plūsmai un ir piemērota vienotas gāzes mērīšanai un daudzkomponentu gāzes fiksētai daļai.
