Kā atrisināt filmas nevienmērīguma problēmu magnetronu iztvaikošanā?

1. Nodrošiniet pēc iespējas lielāku magnētiskā lauka viendabīgumu un virzienu, lai veidotu relatīvi vienotu telpisko magnētisko lauku.

2. Pārliecinieties par augšējā un apakšējā spiediena viendabīgumu, vakuuma kamera jāprojektē, ņemot vērā vakuuma sūkņa uzstādīšanas stāvokli, procesa gāzes ieplūdes režīmu un procesa gāzes lampu izkārtojumu dobumā.

3. Tā kā ne magnētiskais lauks, ne gaisa spiediens nav pilnīgi ideāls, gaisa spiediena nevienmērīgumu var izmantot, lai kompensētu nevienmērīgo magnētisko lauku un padarītu galīgo filmu viendabīgu.

4. Attālums starp mērķi un substrātu ir arī svarīgs faktors, kas ietekmē filmas viendabīgumu.