Izstarošanas jaudas ietekme uz zaļās plēves pārklājumu

3.attēls ir spiediena jaudas diagramma, salīdzinot ar plēves uzklāšanas ātrumu. Procesa parametri ir: reakcijas spiediens ir 0,7 Pa, plūsmas attiecība O2 un Ar ir 3/20, nogulsnēšanas temperatūra ir 200 ° C. No 3. att., Ir zināms, ka ZAO plēves plēves uzklāšanas ātrums gandrīz lineāri palielinās, palielinoties spiediena jaudai. Tā kā pārklāšanas procesā uzklāšanas ātrums (R) ir proporcionāls ierosinātās jonu plūsmas blīvuma (J) un izsmidzināšanas iznākuma (Y) produktam, ti:

R = CYJ

C ir spiediena ierīces īpašību konstante. Saskaņā ar iepriekšminēto formulējumu, kad palielinās spiediena jauda, vienlaikus palielinās spiediena strāva un spriegums, tādējādi palielinoties starpgadījuma jonu strāvas blīvumam (J) un krītošās jonu enerģijai (E) un sakarībai starp starpību starp jonu enerģiju (E ) un izsmidzināšanas iznākums šajā intervālā rāda aptuvenu lineāru palielinājumu un apledojuma palielināšanās arī palielinās aptuveni.

3. diagrammas līkumā divi 120W un 170W punkti tiek izvēlēti un uzzīmēti kā 3.1. Attēls, bet pārējie procesa parametri ir konsekventi. Var redzēt, ka, palielinoties jaudai, nogulsnēšanās ātruma līkne kopumā virzās uz augšējo labo pusi un saglabā formas līdzību, kas nozīmē, ka tas var tikai palielināt nogulsnēšanas ātrumu nekā samazināt saindēšanās ar mērķi saindēšanos parādību.

3. att. Sajaukšanas spēka un nogulsnēšanās ātruma attiecība

3.1. Attēls. O2 plūsmas ātruma un nogulsnēšanās ātruma attiecība ar dažādu spiediena jaudu