DC līdzsvara un impulsu slīpuma salīdzinājums
Feb 10, 2018| Tradicionālais loka jonu apšuvums attiecas uz DC negatīvo novirzi piemēro uz substrāta, lai kontrolētu jonu bombardēšanas enerģiju. Uzklāšanas procesam ir šādi trūkumi:
● Substrāta augstās temperatūras paaugstināšanās neveicina cieto plēvju nogulsnēšanos uz zemas temperatūras rūdīšanas substrāta.
● Augstas enerģijas jonu bombardēšana izraisīja nopietnu izsmidzināšanu, un cietā plānā plēve nevar būt vienkārši, palielinot paaugstinātas reakcijas sliekšņa enerģijas jonu bumbas enerģijas sintēzi.
Ar DC neobjektīvo loka jonu pārklāšanas procesu. Lai ierobežotu jonu konstanti, bombardējot substrāta virsmu un izraisot substrāta temperatūras pārāk augstu, galvenais mērījums ir samazināt nosēdumu jaudu, saīsināt nogulsnēšanās laiku, intermitējošā nogulsnēšanās un citi pasākumi nogulsnēšanas temperatūras samazināšanai, šie pasākumi tiek saukti par "Enerģijas kontroles metodi". Lai gan šī metode var samazināt nogulšņu temperatūru, tā samazina arī dažas filmas īpašības, vienlaikus samazinot ražošanas efektivitāti un filmas kvalitātes stabilitāti. Tādēļ ir grūti popularizēt un piemērot.
Pulksteņu slīpuma jonu pārklāšanas procesā, jo jonu dēļ bombardē substrāta virsmu ar nepārtrauktu impulsu, pielāgojot impulsa slīpuma koeficientu, temperatūras gradients starp matricas iekšējo un virsmu var mainīties, un tad temperatūras līdzsvara ietekmes kompensācijas efektu starp pamatnes iekšējo un virsmu var mainīt, lai sasniegtu nolūšanas temperatūras regulēšanas mērķi. Tādā veidā precizētais slīpuma pulss augstums un sagataves temperatūra var būt atsevišķi (nav ietekmes vai nelielas ietekmes). Augsta sprieguma impulsus izmanto, lai iegūtu augstas enerģijas jonu bumbardēšanas efektu, lai uzlabotu plānās plēves mikrostruktūru un īpašības, samazinot nodokļa attiecību, lai samazinātu jonu bombardēšanas kopējo siltuma efektu, lai samazinātu nogulšņu temperatūru.
