Kombinēta īpaši augsta vakuuma sistēma, izsmidzināšanas jonu sūknis - titāna sublimācijas sūkņa komplekts

Kombinēta īpaši augsta vakuuma sistēma, izsmidzināšanas jonu sūknis - titāna sublimācijas sūkņa komplekts

Attēls 5-17 Kombinētā īpaši augsta vakuuma sistēma: 1- vakuuma kamera 2- īpaši augsta vakuuma aizbīdnis 3- Izsmidzināšanas jonu sūknis — titāna sublimācijas sūkņu grupa 4- Ultra -augsta vakuuma aizbīdņa vārsts 5- aukstā slazds 6- difūzijas sūknis 7- priekšējais cauruļvada vārsts 8- Īpaši augsta vakuuma cauruļvada vārsts 9- atgaisošanas vārsts 10- mehāniskais vakuumsūknis

Attēlā 5-17 parādīts cita veida kombinētās īpaši augsta vakuuma sistēmas. Sistēma ir piemērota vakuuma blīvēšanas krāsnīm, tantala loksnes krāsnīm un citām iekārtām. Sistēmas galvenais sūknis ir izsmidzināšanas jonu sūknis-titāna sublimācijas sūkņu grupa. Vakuuma kameras vakuuma ierobežojums var sasniegt 5 × 10-7 Pa. Sistēma ir aprīkota ar bloku, kas sastāv no eļļas difūzijas sūkņa un mehāniskā sūkņa, ko izmanto rupjai atsūknēšanai un priekšsūknēšanai kā galvenais sūknis, un tas var atsūknēt procesa laikā izdalīto lielo daudzumu.

Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas mašīna, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com