Magnetrona iztvaikošanas mērķa klasifikācija
Jun 25, 2018| Magnetrona izsmidzināšanas mērķis ir vakuuma pārklājuma mehāniskās detaļas, bet arī jaudas elektroniskās sastāvdaļas. Ņemot vērā mērķa barošanas avota izmantošanu, mēs esam vairāk nobažījušies par tā elektrisko sniegumu. Šajā rakstā tiek klasificēts magnētrona izsmidzināšanas mērķis atbilstoši dažādiem tipiem.
1. Pēc mehāniskās struktūras
Klasificējot pēc mehāniskās struktūras un mērķa formas, kā arī magnetrona iztvaikošanas mērķim, galvenokārt, ir planarālie (taisnstūrveida vai riņķveida) magnetronu mērķi, koaksiālais cilindriskais magnētiskais mērķis (iedalīts rotējošos magnētos vai rotējošās mērķa lampās un "magnēti, kas pārvietojas uz augšu un uz leju"). un gredzenveida konisko magnetronu mērķa (S ieroci) un tā tālāk.
2. Saskaņā ar Planar Target
Plaknējie mērķi ir sadalīti plaknē taisnstūra magnetrona mērķa, plakana apļveida magnetrona mērķa un loka-magnetrona divējāda lietojuma kompozītu struktūras plānveida mērķa.
3. Saskaņā ar magnētisko lauku
(1) Magnetrona mērķus var iedalīt pastāvīgajos magnētos un elektromagnētos atkarībā no magnētiskā lauka formēšanas metodēm.
(2) Atšķirībā no magnetrona mērķa izvietojuma un izvietojuma stāvokļa vakuuma kamerā un magnētisko polu un magnētisko līniju izplatīšanās statusa starpības sadalījumu magnetronu izkliedēšanai var iedalīt līdzsvarotā magnetrona iztvaikošanas procesā un nesabalansētu magnetronu izsmidzināšanu (nelīdzsvarota magnētrona iztvaikošana var palīdzēt plazmai izkustināties no mērķa virsmas, lai uzlabotu profilētā izstrādājuma virsmas plēves slāņa kvalitāti un lielu platību jonu nogulsnēšanās efektu). Daudznozaru slēgta magnētiskā lauka nelīdzsvarota magnetrona izsmidzināšanas sistēma var iegūt augstu nogulsnes ātrumu un augstākas kvalitātes plēvīti.
(3) Magnētiskās izkliedēšanas mērķa magnetrona lauka disbalansa lauku var iegūt ne tikai mainot iekšējo un ārējo pastāvīgo magnētu lielumu un stiprību, bet arī ražojot divas elektromagnētisko spoļu grupas vai izmantojot elektromagnētisko spoļu un pastāvīgo magnēti. Tāpat, pievienojot papildu solenoīdi starp katodu un substrātu, lai mainītu magnētisko lauku starp katodu un substrātu, var palīdzēt kontrolēt pozitīvo jonu un atomu attiecību nogulsnēšanā, lai panāktu labāko efektu.