CVD klasifikācija
May 06, 2024| CVD klasifikācija
Atbilstoši CVD reaktīvā materiāla avota normālās fāzes stāvokļa atšķirībām to var tālāk definēt kā
1. Gāzveida materiāla avots: vielas, kas istabas temperatūrā ir gāzveida (H2, N2, CH4, Ar utt.). Ja tiek izmantots gāzveida materiāla avots, pārklājuma ierīces sistēma ir ievērojami vienkāršota, jo ar plūsmas mērītāju jākontrolē tikai reakcijas gāzes plūsmas ātrums, nevis temperatūra.
2. Šķidrie materiālu avoti: reaktīvās vielas, kas istabas temperatūrā ir šķidras, piemēram, TiCl4, CH3CN, SiCl4 un BCl3. Šķidrā materiāla avota daudzumu, kas nonāk nogulsnēšanas kamerā, kontrolē, kontrolējot nesējgāzi un sildīšanas temperatūru, kad tiek izmantota šķidrā materiāla plūsma.
3. Cieto materiālu avoti: vielas, kas istabas temperatūrā ir cietas, piemēram, AlCl, NbCl5, TaCl5, ZrCl5 un HfCl4. Tā kā šāda veida materiālam ir nepieciešams sublimēt nepieciešamo tvaika daudzumu augstākā temperatūrā, sildīšanas temperatūra un nestspēja ir stingri jākontrolē, izmantojot šāda veida procesu.
Uzņēmums IKS PVD, dekoratīvās pārklāšanas mašīna, instrumentu pārklāšanas mašīna, DLC pārklāšanas mašīna, optiskā pārklāšanas iekārta, PVD vakuuma pārklājuma līnija, ir pieejams pabeigts projekts. Sazinieties ar mums tūlīt, e-pasts: iks.pvd@foxmail.com