Instrumentu pārklāšanas iekārtu pamatkomponenti

Mūsdienu vakuuma pārklājuma iekārtas (vienotas sildīšanas tehnoloģijas, temperatūras mērīšanas tehnoloģija, nesabalansēta magnetronu iztvaikošanas tehnoloģija, palīgdzesēšanas anoda tehnoloģija, starpfrekvenču barošanas avots, impulsu tehnoloģija) galvenokārt sastāv no vakuuma kameras, vakuuma sūknēšanas sekcijas, vakuuma mērīšanas sekcijas, barošanas avota daļas, procesa gāzes ieplūdes sistēma, mehāniskās transmisijas daļa, apkures un temperatūras mērīšanas daļa, jonu iztvaikošana vai izsmidzināšanas avots, ūdens dzesēšanas sistēma un citas detaļas.

1. Vakuuma kamera

Pārklājuma iekārtas, kas galvenokārt tiek sadalītas nepārtrauktas pārklājuma ražošanas līnijas un vienas kameras pārklājuma mašīna. Sakarā ar to, ka siltumizolācijas un mehāniskās pārneses detaļās ir pārklājuma veidņu un instrumentu augstās prasības, kā arī pelējuma formas un izmēra lielie atšķirīgie raksturlielumi, nepārtrauktas pārklājuma ražošanas līnijas parasti ir sarežģītas, lai izpildītu prasības, un vienas kameras pārklājējs vienmēr tiek izmantots.

2. Vakuuma sūknēšanas sistēma

Vakuuma tehnoloģijā svarīga ir vakuuma sūknēšanas sistēma. Pateicoties augstu adhēzijas prasību pret veidņu un instrumentu pārklājumu, pārklājuma procesam ir nepieciešams labs fona vakuums, tāpēc, lai panāktu augstu vakuuma pakāpi, ir būtiski izvēlēties iekārtas vakuuma sūknēšanas sistēmu. Pašlaik nav sūkņa, kas varētu darboties no atmosfēras spiediena, līdz tas nonāk ļoti vakuumā. Tāpēc labu vakuumu nevar sasniegt, izmantojot atsevišķas vakuuma iekārtas vai metodes. Kombinācijā jāizmanto vairāki sūkņi, piemēram, mehāniskās sūkņu sistēmas, molekulāro sūkņu sistēmas utt.

3. Vakuuma mērīšanas sistēma

Vakuuma sistēmas vakuuma mērīšanas daļu izmanto spiediena mērīšanai vakuuma kamerā. Tāpat kā vakuuma sūknis, nav vakuuma mērītāja, kas var izmērīt visu vakuuma diapazonu. Tik daudz veidu vakuuma mērītāju tiek ražoti saskaņā ar dažādiem principiem un prasībām.

4. Barošanas avota sistēma

Mērķstrāvas barošana galvenokārt ietver strāvas padevi (piemēram, MDX) un starpfrekvenču barošanu (piemēram, PE, PEII un American AE Company PINACAL). Raksturam parasti ir jābūt ar līdzstrāvas barošanu (piemēram, MDX), impulsu barošanu (piemēram, American AE Company ražoto PINACAL +) vai RF barošanas avotu (RF).

5. Gāzes ievades sistēma

Procesu gāzes, piemēram, argona (Ar), hēlija (Kr), slāpekļa (N2), acetilēna (C2H2), metāna (CH4), ūdeņraža (H2) un skābekļa (O2) parasti piegādā gāzes baloni. Tās ieplūst vakuuma kamerā, izmantojot gāzes spiediena samazināšanas vārstu, gāzes noslēdzošo vārstu, cauruļvadu, gāzes plūsmas mērītāju, elektromagnētisko vārstu, pjezoelektrisko vārstu. Šī veida gāzes ievades sistēmas priekšrocība ir tāda, ka cauruļvadi ir vienkārši un skaidri, un to ir viegli salabot vai nomainīt. Arī katra pārklājuma mašīna neietekmē viens otru. Bez tam, ir arī gadījumi, kad vairākiem pārklājējiem ir kopīga balonu grupa, ko var atrast dažos lielākajos pārklājuma veikalos, jo priekšrocības ir tādas, ka tas samazina gāzes balonu patēriņu un padara vienotu plānošanu un izkārtojumu. Trūkums ir tāds, ka noplūdes iespēja palielinās, pateicoties daudzām locītavām. Turklāt pārklāšanas mašīnas traucē viens otru, un pārklājuma mašīnas caurules gaisa noplūde var ietekmēt citu pārklājuma iekārtu kvalitāti. Turklāt, nomainot cilindrus, ir jānodrošina, ka visi lieldatori nav izmantojami.

6. Mehāniskā pārnesumkārba

Instrumenta pārklājums prasa, lai plēve būtu vienāda biezumā. Tādēļ, lai atbilstu prasībām, pārklājuma procesā jābūt trīs rotējumiem. Tas nozīmē, ka, kamēr notiek liela sagatavju galda pagriešanās, arī rotējošs neliels sagataves galda galds arī rotē, un pats izstrādājums var pagriezties vienlaicīgi. Mehāniskajā dizainā parasti ir liels piedziņas mehānisms lielā sagataves rotējošā galda apakšdaļas centrā, kuru ieskauj daži mazi zvaigžņu riteņi, ar kuriem to savienot, un pēc tam ar pagrieziena dakšiņu var izmantot pagriežamo sagatavi. Protams, veidojot pārklājumus, parasti ir pietiekami divi apgriezieni, bet pārnesumu kravnesība ir ievērojami jāuzlabo.

7. Apkures un temperatūras mērīšanas sistēma

Veidojot pelējuma pārklājumu, kā nodrošināt vienmērīgu apstrādājamā materiāla apsildīšanu ir daudz svarīgāka nekā dekoratīvā pārklājuma procesā. Formas pārklāšanas iekārtām parasti ir divi sildītāji priekšpusē un aizmugurē, un temperatūras mērīšanai un regulēšanai izmanto termopāri. Tomēr, pateicoties dažādiem termopāra savienošanas punktiem, temperatūras rādījums nevar būt apstrādājamās detaļas faktiskā temperatūra. Ir daudzi veidi, kā mērīt izstrādājuma patieso temperatūru. Šeit ir viegli lietojams virsmas termomērs. Šī termometra darba princips ir tāds, ka tad, kad termometrs tiek uzkarsēts, apakšas atsperes tiek palielinātas, lai rādītājs spiedītu pozicionēšanas rādītāju, lai rotētu līdz maksimālajai temperatūrai. Kad temperatūra ir samazināta, atsperce saraujas un rādītājs griežas pretējā virzienā, bet pozicionēšanas rādītājs paliek augstākajā temperatūras pozīcijā. Pēc durvju atvēršanas tiek nolasīta pozicionēšanas rādītāju norādītā temperatūra, tas ir, visaugstākā temperatūra, ko virsmas termometrs ir sasniedzis sildot vakuuma kamerā.

8. Jonu iztvaicēšanas un izkliedēšanas avoti

Daudzpuķu pārklājuma iztvaicēšanas avots parasti ir apaļa, parasti sauc par apaļo mērķi. Pēdējos gados ir parādījies arī taisnstūrveida daudzpakāpju mērķis, taču acīmredzama ietekme nav novērota. Apaļais mērķis ir uzstādīts uz vara mērķa turētāja (katoda turētājs), un abas ir saskrūvētas kopā. Mērķa turētājā ir magnēts, un magnētiskā lauka stiprumu var mainīt, pārvietojot magnētu uz priekšu un atpakaļ, kā arī pārvietošanās ātrumu un lokveida vietas izsekošanu. Lai samazinātu mērķa un mērķa turētāja temperatūru, mērķa turētājam nepārtraukti tiek piegādāts dzesēšanas ūdens. Lai nodrošinātu augstu elektrisko un siltuma vadītspēju starp mērķa un mērķa turētāju, starp mērķa un mērķa turētāju var pievienot arī alvas (Sn) starpliku. Bez tam magnetrona pārklāšanas pārklājums parasti izmanto taisnstūrveida vai cilindriskus mērķus.

9. Ūdens dzesēšanas sistēma

Lai izveidotu pelējuma pārklājumu, lai palielinātu metālu atomu iztvaicēšanas ātrumu, katram katoda mērķa turētājam pēc iespējas lielāka jauda tiek patērēta, un tas prasa pietiekamu dzesēšanu. Turklāt daudzu instrumentu un veidņu pārklājumu sildīšanas temperatūra ir no 400 līdz 500 ℃ . Tāpēc arī ļoti svarīga ir vakuuma kameras sienas dzesēšana un katra blīvējuma virsma, tādēļ dzesēšanas ūdeni vislabāk piegādā no dzesētāja aptuveni 18 līdz 20 ℃ . Lai novērstu zemas temperatūras vakuuma kameras sienām un katoda mērķus, kas izšķīst ūdenī, saskaroties ar karstu gaisu pēc durvju atvēršanas, ūdens dzesēšanas sistēmai vajadzētu būt iespējai pārslēgties uz karstā ūdens padeves stāvokli apmēram 10 minūtes pirms durvju atvēršanas. Karstā ūdens temperatūra ir apmēram 40 ~ 45 ℃.