Lieljaudas impulsa magnetrona barošana

Augstas enerģijas impulsu magnetronu izsmidzināšanas tehnoloģijas (HIPIMS) priekšrocības ◆ Tradicionālo DC magnetronu impulsa jaudu ierobežo mērķa termiskais spriegums. ◆ Lielākā daļa jonu sadursmes enerģijas var tieši pārvērst mērķa siltumenerģijā. ◆ impulsa magnetrona enerģijas avots ...

Nosūtīt pieprasījumu
Lejupielādēt

Produkta ievads

Augstas enerģijas impulsu magnetronu izsmidzināšanas tehnoloģijas priekšrocības ( HIPIMS )

◆ Tradicionālo DC magnetronu impulsa jaudu ierobežo mērķa termiskais spriegums.

◆ Lielākā daļa jonu sadursmes enerģijas var tieši pārvērst mērķa siltumenerģijā.

◆ Impulsa magnetrona strāvas avots nodrošina augstu impulsa jaudu un zemu darba ciklu.

◆ Pulsējošais magnetrona strāvas avots var tieši nomainīt DC magnetronu izsmidzināšanas strāvas avotu.

Salīdzinājums starp lieljaudas impulsu magnetronu izstarojumu un DC magnetronu izstarojumu

Augstas enerģijas impulsa magnetrona īpašības Sprauslas izlāde	Dc magnetrona iztvaikošanas izlādes iespējas
Katoda izlādes spriegums ir 500 ~ 2000 V, strāvas blīvums ir līdz 3 ~ 4A / cm ² .	Magnētiskā lauka intensitāte ir 0.01 ~ 0.05 T, bet darba spriegums ir 300 ~ 700 V zem tipiskā DC magnetrona spiediena darba spiediens (1 ~ 10 mTorr).
Elektronu blīvums pie pamatnes virsmas: 10 ¹⁸ ~ 10 ¹⁹ m ^- ³	Elektronu blīvums substrāta virsmas tuvumā: 10 ¹⁵ ~ 10 ¹⁶ m-3
Jaudas blīvums: 1 ~ 3kW / cm ²	Zemu jonizācijas ātrumu (~ 1%) mērķa laikā, veicot izsmidzināšanu.
Frekvence: 100 ~ 1000Hz	Inertā gāzes joni ir lielākā daļa
Darba cikls: 1% ~ 10%	Papildu jonizācijas palīgierīces (RF of mikroviļņu krāsns).

Augstas enerģijas impulsu magnetronu izstarošanas barošanas avota īpašības

◆ Pozitīvo un negatīvo elektrodu izlādi kontrolē ātrgaitas slēdzis, lai izvairītos no tā, ka tas iekļūst loka izplūdes zonā no tradicionāla magnetrona izsmidzināšanas neparastas spīdēšanas vietas. Pašreizējais blīvums ir līdz 1018-1019 / m3, kas ir ārkārtīgi lielāks par tradicionālo magnetronu izsmidzināšanu. Un ar ļoti augstu jonizācijas ātrumu 80-99%, tas var viegli noglabāt dažādas progresīvas filmas ar spēcīgu saķeri.

◆ Lieljaudas impulsa magnetrona spiediena jauda nodrošina lieliskus filmas raksturlielumus attiecībā uz filmas konsistenci, cietību, nodilumizturību un adhēziju.

◆ Ar augstu impulsu jaudu un zemu darba ciklu, lieljaudas impulsa magnetrona izstarošanas strāvas padeve var aizstāt DC magnētrona iztvaikošanas strāvas avotu tieši, nemainot oriģinālo magnetronu putekļaino pārklāšanas iekārtu.

◆ PHP loka apspiešanas tehnoloģija nodrošina, ka lietotāji var labāk kontrolēt filmas kvalitāti virsmas apstrādes procesā. Ar sprieguma stabilizācijas un ideālas apgriezienus, strāvas padeve var efektīvi aizkavēt apstrādes virsmas spožumu un būtiski uzlabot plākšņu gabalu ražošanas jaudu, virsmas izskatu un plēves saķeri.

◆ Lieljaudas impulsa magnetrona barošanas sistēma pieĦem modernu augstfrekvences invertora maiĦas barošanas avota tehnoloģiju un lieljaudas IGBT barošanas moduli.

◆ Izmantojot skārienekrānu mikrokontrolleru, strāvas padeve ir ļoti integrēta un jaudīga, ar vieglu darbību. Strāvas un sprieguma displejs ir ļoti skaidrs un intuitīvs. Tāpat tas atbalsta daudzkanālu ātrgaitas skaitīšanas un ātrgaitas impulsu funkciju.

◆ Strāvas padevei ir aizsardzības funkcijas, kas saistītas ar strāvu, pārspriegumu un temperatūru.

◆ Strāvas padeve var sazināties ar uzņēmējas datoru, izmantojot digitālos portus, piemēram, RS232, RS485, WIFI u.c., kas paplašina vadības funkciju.

Produkta specifikācija

Produkta modelis	EP50A80H
Ieejas jauda un frekvence (V / Hz) trīsfāzu un četru vadu	AC380 + N
Ieejas jauda un frekvence (V / Hz) trīsfāzu un četru vadu	60 Hz
Izejas strāvas diapazons (A)	0 ~ 500
Kontrasta voltaga un konstants strāvas precizitāte	≤1%
Nominālā izejas spriegums (DCV)	800
Maksimālā vidējā jauda (KW)	40
Maksimālā jauda (KW)	400
Cikls (%)	<>
Svars (KG)	60
Ārējie izmēri (MM)	575 (D) × 480 (W) × 250 (H)
Izolācijas pakāpe	B
Produktivitāte (%)	90
Korpusa aizsardzības klase	Ip21
Darbības režīms	Pastāvīgs spriegums, pastāvīgs strāvas un pastāvīgais enerģijas režīms ir izvēles iespējas.
Dzesēšanas režīms	Ūdens dzesēšana
Ārējā saskarne	Šajā sērijas izstrādājumos visi lieto skārienekrāna mikrokontrolleru

Salīdzinājums starp lieljaudas impulsu magnetronu izstarošanas strāvas avotu EP50A80H un citiem izstrādājumiem

	Lieljaudas impulsu magnetronu izstarošana
Zīmols	Huttinger	Hausers	IKS
Modelis	Truplasma Highpulse 4000	HIPIMS +	EP50A80H
Maksimālā vidējā jauda	20kW	20kW	40KW
Peak Power	1MW ~ 8MW	360kW	400kW
spriegums	1KV, 2KV	800	800
Pašreizējais	1KA, 2KA, 4KA	600	500
Arc Detection	<500>	<800>	<500>
Iepakojums (B * H * T)	483x635x676	null	480x268x700

Augstas jaudas impulsa magnētrona iztvaikošanas jaudas EP50A80H priekšrocības

◆ augsta uzticamība

EP50A80H nodrošina lieliskus filmas raksturlielumus attiecībā uz filmas konsistenci, cietību, nodilumizturību un adhēziju.

◆ Teicama sirds slāpēšanas tehnoloģija

EP50A80H pieņem PHP loka ierobežošanas tehnoloģiju, lai lietotāji varētu ērti kontrolēt filmas kvalitāti virsmas apstrādes procesā, lai iegūtu labāku filmu struktūru.

◆ laba saderība

EP50A80H var tieši aizstāt esošo magnetronu izsmidzināšanas barošanas bloku. Tā vietā, lai aizstātu katoda materiālus un magnētiskos laukus, lietotājiem ir jāmaina dzesēšanas sistēma.

◆ Augsta jaudas un tilpuma attiecība

Liela jaudas skaita attiecība padara aprīkojuma uzstādīšanu vieglāku lietotājiem.

Pieteikums

Lieljaudas MF magnetronu izstarošanas strāvas avots tiek plaši izmantots plazmas, fizikālās, ķīmiskās, medicīnas un dažādās zinātniskās izpētes jomās, tas var apmierināt plašu procesu prasības, jo īpaši vakuuma pārklājuma iekārtās.